Use the standard schedule display Use the tall schedule display
Show/Hide Navigation
Show Specific Dates
Today Back 08/09/2024 - 14/09/2024 Forward
Resource Filter Hide Reservation Filter
Sunday, 08/09/2024 00:00 08:00 09:00 10:00 11:00 12:00 13:00 14:00 15:00 16:00 17:00 18:00 19:00 20:00 21:00 22:00 23:00
1.2 Fume Cupboard (Wet Processing, Lower East)                 Shuji Kojima                                                                    
1.2.1 Decanted HF process                                                                                        
1.3 Fume Cupboard (Spinner, Lower East) Shuji Kojima                                                                        
1.6 MJB3 Aligner         Shuji Kojima                                                                              
1.7 FEI XL30                                                                                        
1.8 FEI Sirion                                                                                        
2.1 Olympus Microscope                                                                                        
2.3 Denton Oxygen Asher (Lower East) Shuji Kojima                                                                                      
2.4 Lesker Thermal Evaporator                     Shuji Kojima                                                
2.5 P-type Evaporator (Auto 306)                                                                                        
2.6 SET Al Evaporator (Auto 306)                                                                                        
2.7 Dicing Saw                                                                                        
2.8 GaAs ULVAC MILA-500 Annealing Furnace                                                                                        
3.0 Scriber (custom-made)                                                                                        
3.1 Fume Cupboard (Wet Processing, Upper East White)                                                                                        
3.1.1 HF constant temperature bath                                                                                        
3.1.2 TMAH etch                                                                                        
3.2 Fume Cupboard (Spinner, Upper East)                                                                                        
3.2.1. NMP Bath (photomask cleaning)                                                                                        
3.4 Clean Anneal Furnace                                                                                        
3.5 GP Anneal Furnace                                                                                        
3.6 Boron Diffusion Furnace                                                                                        
3.7 Phosphorus Diffusion Furnace                                                                                        
3.8 UDOX Furnace                                                                                        
3.9 Clean Si Oxidation Furnace                                                                                        
4.4 Dektak 2A                                                                                        
4.5 Kyowa Microscope                                                                                        
4.6 Kyowa Zoom Stereo Microscope                                                                                        
4.7 Nikon Microscope                                                                                        
4.8 PDMS Station                                                                                        
4.9 Jipelec RTA                                                                                        
5.3 4-point Probe                                                                                        
5.4 Edwards Sputter                                                                                        
5.6 Edwards Evaporator                                                                                        
5.7.1 Oxford RIE                                                                                        
5.7.2 Oxford PECVD                                 SGS offine    
5.9 Raith 150 TWO                                                                                        
6.0 Fume Cupboard (Resist Spinner, West White)                                                                                        
6.1 Fume Cupboard (Dry Processing, West White)                                                                                        
6.2 Fume Cupboard (Wet Processing, West White)                                                                                        
6.3 Fume Cupboard (HF Processing, West White)                                                                                        
6.4 Olympus Stereo Microscope                                                                                        
6.5 Olympus Darkfield Microscope                                                                                        
6.5.1 Dektak 150                                                                                        
6.5.2 MA6 Aligner                                                                                        
6.5.3.1 GP ULVAC MILA-500 Annealing Furnace                                                                                        
6.5.6 Savannah ALD                                                                                        
6.5.8 Muffle Furnace                                                                                        
6.6 Fume Cupboard (Wet Processing, West Grey)                                                                                        
6.7 STS ICP-DRIE                                                                                        
6.8.1 TPT HB10 Thermosonic Au Ball Bonder                                                                                        
6.9 K and S Al Wedge Bonder                                                                                        
7.2 Lesker PVD 75 (GP)                                                                                        
7.2.1 Lesker PVD 75 (Si)                                                                                        
7.2.2 HHV Sputterer                                                                                        
7.3 Woollam M2000 Ellipsometer                                                                                        
7.5 Cascade Probe Station                                                                                        
8.1 Fume Cupboard (Wet Processing, South Lab)                                                                                        
8.2 Veeco Gen930 III-V MBE                                                                                        
9.0 Fume Cupboard (Wet Processing, South Laser Lab)                                                                                        
9.1 Pascal LMBE Chamber A Yuhan Zeng                                                                                        
9.2 Pascal LMBE Chamber B                                                                                        
AlphaPlasma Asher                                                                                        
Bruker Dimension Edge AFM                                                                                        
DektakXT                                                                                        
DMO ML3 Pro direct writer                                                                                        
F and S Bondtech 53XX-BDA wire bonder                                                                                        
GP RIE                                                                                        
MBE sample preparation                                                                                        
OEG MR200 diamond scriber                                                                                        
Olympus DSX1000 Digital Microscope                                                                                        
Oxford PlasmaPro 100 Cobra ICP RIE                                                                                        
Parylene Coater                                                                                        
Picosun R-200 ALD system                                                                                        
Raith Pioneer TWO                                                                                        
Tystar LPCVD Furnace System                                                                                        
Tystar LPCVD Furnace Tube 1 (Si3N4)                                                                                        
Tystar LPCVD Furnace Tube 2 (p-doped PolySi)                                                                                        
Tystar LPCVD Furnace Tube 3 (n-doped PolySi)                                                                                        
10.1 Fume Cupboard (Wet Processing, Ion Implanter)                                                                                        
10.1 IBS Ion Implanter                                                                                        
11 COMSOL Multiphysics                                                                                        
11.1 Woollam WVASE32                                                                                        
11.2 Raith Software                                                                                        
Monday, 09/09/2024 00:00 08:00 09:00 10:00 11:00 12:00 13:00 14:00 15:00 16:00 17:00 18:00 19:00 20:00 21:00 22:00 23:00
1.2 Fume Cupboard (Wet Processing, Lower East)                         Shuji Kojima                                                                                                    
1.2.1 Decanted HF process                                                                                                                                
1.3 Fume Cupboard (Spinner, Lower East)                                                                                                                                
1.6 MJB3 Aligner                                                                                                                                
1.7 FEI XL30                                                                                                                                
1.8 FEI Sirion                                                                                                                                
2.1 Olympus Microscope                                                                                                                                
2.3 Denton Oxygen Asher (Lower East)                                                                                                                                
2.4 Lesker Thermal Evaporator                     Andrew See         Shimul Kanti Nath                                                            
2.5 P-type Evaporator (Auto 306)                                                                                                                                
2.6 SET Al Evaporator (Auto 306)                                                                                                                                
2.7 Dicing Saw                 Compressor in use for abrasive blasting.                                                                        
2.8 GaAs ULVAC MILA-500 Annealing Furnace                                                                                                                                
3.0 Scriber (custom-made)                                                                                                                                
3.1 Fume Cupboard (Wet Processing, Upper East White)                             Yanan Xu Yanda Zhu                                                                            
3.1.1 HF constant temperature bath                                                                                                                                
3.1.2 TMAH etch                                                                                                                                
3.2 Fume Cupboard (Spinner, Upper East)                             Yen Nee Ho                 Yen Nee Ho                     Duoduo Zhao                                                
3.2.1. NMP Bath (photomask cleaning)                                                                                                                                
3.4 Clean Anneal Furnace                                                                                                                                
3.5 GP Anneal Furnace                                                                                                                                
3.6 Boron Diffusion Furnace                                                                                                                                
3.7 Phosphorus Diffusion Furnace                                                                                                                                
3.8 UDOX Furnace                                                                                                                                
3.9 Clean Si Oxidation Furnace                                                                                                                                
4.4 Dektak 2A                                                                                                                                
4.5 Kyowa Microscope                                                                                                                                
4.6 Kyowa Zoom Stereo Microscope                                                                                                                                
4.7 Nikon Microscope                                                                                                                                
4.8 PDMS Station                                                                                                                                
4.9 Jipelec RTA                                                                                                                                
5.3 4-point Probe                                                                                                                                
5.4 Edwards Sputter                                                                                                                                
5.6 Edwards Evaporator                                                                                                                                
5.7.1 Oxford RIE                                                                                                                                
5.7.2 Oxford PECVD                                                                         SGS offine    
5.9 Raith 150 TWO                           Thanh Doan Laura O'Neill   Jianfu (Jeff) Wang                                                
6.0 Fume Cupboard (Resist Spinner, West White)                                         Pierrette Michaux                                                                                    
6.1 Fume Cupboard (Dry Processing, West White)                                                                                                                                
6.2 Fume Cupboard (Wet Processing, West White)                                                                                                                                
6.3 Fume Cupboard (HF Processing, West White)                                                                                                                                
6.4 Olympus Stereo Microscope                                                                                                                                
6.5 Olympus Darkfield Microscope                                                                                                                                
6.5.1 Dektak 150                                                                                                                                
6.5.2 MA6 Aligner                                             Jing Liu Taiqi Li                                                            
6.5.3.1 GP ULVAC MILA-500 Annealing Furnace                                                                                                                                
6.5.6 Savannah ALD                                                                                                                                
6.5.8 Muffle Furnace                                                                                                                                
6.6 Fume Cupboard (Wet Processing, West Grey)                                                                                                                                
6.7 STS ICP-DRIE                                                                                                                                
6.8.1 TPT HB10 Thermosonic Au Ball Bonder                                                                                                                                
6.9 K and S Al Wedge Bonder                                                                                                                                
7.2 Lesker PVD 75 (GP) Chamber parts and shield clean     Peter Qiu                                                    
7.2.1 Lesker PVD 75 (Si)                                                                                                                                
7.2.2 HHV Sputterer                                                                                                                                
7.3 Woollam M2000 Ellipsometer                                                                                                                                
7.5 Cascade Probe Station                                                                                                                                
8.1 Fume Cupboard (Wet Processing, South Lab)                                                                                                                                
8.2 Veeco Gen930 III-V MBE                                                                                                                                
9.0 Fume Cupboard (Wet Processing, South Laser Lab)                                                                                                                                
9.1 Pascal LMBE Chamber A                 Qingxiao Meng                                                                                        
9.2 Pascal LMBE Chamber B                                                                                                                                
AlphaPlasma Asher                                                                                                                                
Bruker Dimension Edge AFM                                                                                                                                
DektakXT                                                                                                                                
DMO ML3 Pro direct writer         Peter Qiu         Yen Nee Ho Photonics Crystal Duoduo Zhao ADITYA ASHOK                                
F and S Bondtech 53XX-BDA wire bonder                                                                                                                                
GP RIE                                                                                                                                
MBE sample preparation                                                                                                                                
OEG MR200 diamond scriber                                                                                                                                
Olympus DSX1000 Digital Microscope                     Zhewei Liu                                                                                                    
Oxford PlasmaPro 100 Cobra ICP RIE                                                                                                                                
Parylene Coater                                                                                                                                
Picosun R-200 ALD system                                                                                                                                
Raith Pioneer TWO                                                                                                                                
Tystar LPCVD Furnace System                                                                                                                                
Tystar LPCVD Furnace Tube 1 (Si3N4)                                                                                                                                
Tystar LPCVD Furnace Tube 2 (p-doped PolySi)                                                                                                                                
Tystar LPCVD Furnace Tube 3 (n-doped PolySi)                                                                                                                                
10.1 Fume Cupboard (Wet Processing, Ion Implanter)                                                                                                                                
10.1 IBS Ion Implanter                                                                                                                                
11 COMSOL Multiphysics                                                                                                                                
11.1 Woollam WVASE32                                                                                                                                
11.2 Raith Software                                                                                                                                
Tuesday, 10/09/2024 00:00 08:00 09:00 10:00 11:00 12:00 13:00 14:00 15:00 16:00 17:00 18:00 19:00 20:00 21:00 22:00 23:00
1.2 Fume Cupboard (Wet Processing, Lower East)                                                                                                                                
1.2.1 Decanted HF process                                                                                                                                
1.3 Fume Cupboard (Spinner, Lower East)                                                                                                                                
1.6 MJB3 Aligner                                                                                                                                
1.7 FEI XL30                                                                                                                                
1.8 FEI Sirion                                                                                                                                
2.1 Olympus Microscope                                                                                                                                
2.3 Denton Oxygen Asher (Lower East)                                                                                                                                
2.4 Lesker Thermal Evaporator             Ziyi Wang                                                                                                    
2.5 P-type Evaporator (Auto 306)                                                                                                                                
2.6 SET Al Evaporator (Auto 306)                                                                                                                                
2.7 Dicing Saw                                                                                                                                
2.8 GaAs ULVAC MILA-500 Annealing Furnace                                                                                                                                
3.0 Scriber (custom-made)                                                                                                                                
3.1 Fume Cupboard (Wet Processing, Upper East White)             Photonics Crystal Fay Hudson                                                                                            
3.1.1 HF constant temperature bath                                                                                                                                
3.1.2 TMAH etch                                                                                                                                
3.2 Fume Cupboard (Spinner, Upper East)                             Duoduo Zhao     Duoduo Zhao                       Duoduo Zhao                                                
3.2.1. NMP Bath (photomask cleaning)                                                                                                                                
3.4 Clean Anneal Furnace                                                                                                                                
3.5 GP Anneal Furnace                 Fay Hudson                                                                                
3.6 Boron Diffusion Furnace                                                                                                                                
3.7 Phosphorus Diffusion Furnace             Photonics Crystal                                                                                                
3.8 UDOX Furnace         Fay Hudson                                                                                
3.9 Clean Si Oxidation Furnace             Photonics Crystal                                                                                        
4.4 Dektak 2A                                                                                                                                
4.5 Kyowa Microscope                                                                                                                                
4.6 Kyowa Zoom Stereo Microscope                                                                                                                                
4.7 Nikon Microscope                                                                                                                                
4.8 PDMS Station                                                                                                                                
4.9 Jipelec RTA                                                                                                                                
5.3 4-point Probe                                                                                                                                
5.4 Edwards Sputter                                                                                                                                
5.6 Edwards Evaporator                                                                                                                                
5.7.1 Oxford RIE                                                                                                                                
5.7.2 Oxford PECVD                                                                         SGS offine    
5.9 Raith 150 TWO         Yen Nee Ho     Eying Sim Wong         joanna szymanska                                                    
6.0 Fume Cupboard (Resist Spinner, West White)                                 Eying Sim Wong       Eying Sim Wong                                                                              
6.1 Fume Cupboard (Dry Processing, West White)                                                                                                                                
6.2 Fume Cupboard (Wet Processing, West White)                                                   Eying Sim Wong                                                                        
6.3 Fume Cupboard (HF Processing, West White)                                                                                                                                
6.4 Olympus Stereo Microscope                                                                                                                                
6.5 Olympus Darkfield Microscope                                                                                                                                
6.5.1 Dektak 150                                                                                                                                
6.5.2 MA6 Aligner                                                                                                                                
6.5.3.1 GP ULVAC MILA-500 Annealing Furnace                                                                                                                                
6.5.6 Savannah ALD                                                                                                                                
6.5.8 Muffle Furnace                                                                                                                                
6.6 Fume Cupboard (Wet Processing, West Grey)                                                                                                                                
6.7 STS ICP-DRIE                                                                                                                                
6.8.1 TPT HB10 Thermosonic Au Ball Bonder                                                                                                                                
6.9 K and S Al Wedge Bonder                                                                                                                                
7.2 Lesker PVD 75 (GP)                             Qingxiao Meng           Duoduo Zhao                                                            
7.2.1 Lesker PVD 75 (Si)                                                                                                                                
7.2.2 HHV Sputterer                                                                                                                                
7.3 Woollam M2000 Ellipsometer                                                                                                                                
7.5 Cascade Probe Station                                                                                                                                
8.1 Fume Cupboard (Wet Processing, South Lab)                                                                                                                                
8.2 Veeco Gen930 III-V MBE                                                                                                                                
9.0 Fume Cupboard (Wet Processing, South Laser Lab)                                                                                                                                
9.1 Pascal LMBE Chamber A                     Yang Liu                                 Yang Liu                                                    
9.2 Pascal LMBE Chamber B                 Yi Liao                                                                                            
AlphaPlasma Asher                                                                                                                                
Bruker Dimension Edge AFM                                                                                                                                
DektakXT                                                                                                                                
DMO ML3 Pro direct writer         Duoduo Zhao                     Duoduo Zhao Andrey Timofev       Duoduo Zhao                                                
F and S Bondtech 53XX-BDA wire bonder                                                                                                                                
GP RIE                     Duoduo Zhao                                                                                                
MBE sample preparation                                                                                                                                
OEG MR200 diamond scriber                                                                                                                                
Olympus DSX1000 Digital Microscope                                                                                                                                
Oxford PlasmaPro 100 Cobra ICP RIE                                                                                                                                
Parylene Coater                                                                                                                                
Picosun R-200 ALD system                                                                                                                                
Raith Pioneer TWO                                                                                                                                
Tystar LPCVD Furnace System                                                                                                                                
Tystar LPCVD Furnace Tube 1 (Si3N4)                                                                                                                                
Tystar LPCVD Furnace Tube 2 (p-doped PolySi)                                                                                                                                
Tystar LPCVD Furnace Tube 3 (n-doped PolySi)                                                                                                                                
10.1 Fume Cupboard (Wet Processing, Ion Implanter)                                                                                                                                
10.1 IBS Ion Implanter                                                                                                                                
11 COMSOL Multiphysics                                                                                                                                
11.1 Woollam WVASE32                                                                                                                                
11.2 Raith Software                                                                                                                                
Wednesday, 11/09/2024 00:00 08:00 09:00 10:00 11:00 12:00 13:00 14:00 15:00 16:00 17:00 18:00 19:00 20:00 21:00 22:00 23:00
1.2 Fume Cupboard (Wet Processing, Lower East)                                                                                                                                
1.2.1 Decanted HF process                                                                                                                                
1.3 Fume Cupboard (Spinner, Lower East)                                                                                                                                
1.6 MJB3 Aligner                                                                                                                                
1.7 FEI XL30                                                                                                                                
1.8 FEI Sirion                                                                                                                                
2.1 Olympus Microscope                                                                                                                                
2.3 Denton Oxygen Asher (Lower East)                                                                                                                                
2.4 Lesker Thermal Evaporator                                                                                                                                
2.5 P-type Evaporator (Auto 306)                                                                                                                                
2.6 SET Al Evaporator (Auto 306)                                                                                                                                
2.7 Dicing Saw                                                                                                                                
2.8 GaAs ULVAC MILA-500 Annealing Furnace                                                                                                                                
3.0 Scriber (custom-made)                                                                                                                                
3.1 Fume Cupboard (Wet Processing, Upper East White)                                                                                                                                
3.1.1 HF constant temperature bath                                                                                                                                
3.1.2 TMAH etch                                                                                                                                
3.2 Fume Cupboard (Spinner, Upper East)                                                                                                                                
3.2.1. NMP Bath (photomask cleaning)                                                                                                                                
3.4 Clean Anneal Furnace                                                                                                                                
3.5 GP Anneal Furnace                                                                                                                                
3.6 Boron Diffusion Furnace                                                                                                                                
3.7 Phosphorus Diffusion Furnace                                                                                                                                
3.8 UDOX Furnace                                                                                                                                
3.9 Clean Si Oxidation Furnace                                                                                                                                
4.4 Dektak 2A                                                                                                                                
4.5 Kyowa Microscope                                                                                                                                
4.6 Kyowa Zoom Stereo Microscope                                                                                                                                
4.7 Nikon Microscope                                                                                                                                
4.8 PDMS Station                                                                                                                                
4.9 Jipelec RTA                                                                                                                                
5.3 4-point Probe                                                                                                                                
5.4 Edwards Sputter                                                                                                                                
5.6 Edwards Evaporator                                                                                                                                
5.7.1 Oxford RIE                                                                                                                                
5.7.2 Oxford PECVD                                                                         SGS offine    
5.9 Raith 150 TWO       Subhashish Barik   Yanfang Wu         Yen Nee Ho                                                        
6.0 Fume Cupboard (Resist Spinner, West White)                                                                                                                                
6.1 Fume Cupboard (Dry Processing, West White)                                                                                                                                
6.2 Fume Cupboard (Wet Processing, West White)                                                                                                                                
6.3 Fume Cupboard (HF Processing, West White)                                                                                                                                
6.4 Olympus Stereo Microscope                                                                                                                                
6.5 Olympus Darkfield Microscope                                                                                                                                
6.5.1 Dektak 150                                                                                                                                
6.5.2 MA6 Aligner                                                                                                                                
6.5.3.1 GP ULVAC MILA-500 Annealing Furnace                                                                                                                                
6.5.6 Savannah ALD                                                                                                                                
6.5.8 Muffle Furnace                                                                                                                                
6.6 Fume Cupboard (Wet Processing, West Grey)                                                                                                                                
6.7 STS ICP-DRIE                                                                                                                                
6.8.1 TPT HB10 Thermosonic Au Ball Bonder                                                                                                                                
6.9 K and S Al Wedge Bonder                                                                                                                                
7.2 Lesker PVD 75 (GP)                                                                                                                                
7.2.1 Lesker PVD 75 (Si)                                                                                                                                
7.2.2 HHV Sputterer                                                                                                                                
7.3 Woollam M2000 Ellipsometer                                                                                                                                
7.5 Cascade Probe Station                                                                                                                                
8.1 Fume Cupboard (Wet Processing, South Lab)                                                                                                                                
8.2 Veeco Gen930 III-V MBE                                                                                                                                
9.0 Fume Cupboard (Wet Processing, South Laser Lab)                                                                                                                                
9.1 Pascal LMBE Chamber A                             Meysam Amini Meysam Amini                                                        
9.2 Pascal LMBE Chamber B                                                                                                                                
AlphaPlasma Asher                                                                                                                                
Bruker Dimension Edge AFM                                                                                                                                
DektakXT                                                                                                                                
DMO ML3 Pro direct writer                     Benoit Voisin                                                                                            
F and S Bondtech 53XX-BDA wire bonder                                                                                                                                
GP RIE                                                                                                                                
MBE sample preparation                                                                                                                                
OEG MR200 diamond scriber                                                                                                                                
Olympus DSX1000 Digital Microscope                                                                                                                                
Oxford PlasmaPro 100 Cobra ICP RIE                                                                                                                                
Parylene Coater                                                                                                                                
Picosun R-200 ALD system                                                                                                                                
Raith Pioneer TWO                                                                                                                                
Tystar LPCVD Furnace System                                                                                                                                
Tystar LPCVD Furnace Tube 1 (Si3N4)                                                                                                                                
Tystar LPCVD Furnace Tube 2 (p-doped PolySi)                                                                                                                                
Tystar LPCVD Furnace Tube 3 (n-doped PolySi)                                                                                                                                
10.1 Fume Cupboard (Wet Processing, Ion Implanter)                                                                                                                                
10.1 IBS Ion Implanter                                                                                                                                
11 COMSOL Multiphysics                                                                                                                                
11.1 Woollam WVASE32                                                                                                                                
11.2 Raith Software                                                                                                                                
Thursday, 12/09/2024 00:00 08:00 09:00 10:00 11:00 12:00 13:00 14:00 15:00 16:00 17:00 18:00 19:00 20:00 21:00 22:00 23:00
1.2 Fume Cupboard (Wet Processing, Lower East)                                                                                                                                
1.2.1 Decanted HF process                                                                                                                                
1.3 Fume Cupboard (Spinner, Lower East)                                                                                                                                
1.6 MJB3 Aligner                                                                                                                                
1.7 FEI XL30                                                                                                                                
1.8 FEI Sirion                                                                                                                                
2.1 Olympus Microscope                                                                                                                                
2.3 Denton Oxygen Asher (Lower East)                                                                                                                                
2.4 Lesker Thermal Evaporator                                                                                                                                
2.5 P-type Evaporator (Auto 306)                                                                                                                                
2.6 SET Al Evaporator (Auto 306)                                                                                                                                
2.7 Dicing Saw                                                                                                                                
2.8 GaAs ULVAC MILA-500 Annealing Furnace                                                                                                                                
3.0 Scriber (custom-made)                                                                                                                                
3.1 Fume Cupboard (Wet Processing, Upper East White)                                                                                                                                
3.1.1 HF constant temperature bath                                                                                                                                
3.1.2 TMAH etch                                                                                                                                
3.2 Fume Cupboard (Spinner, Upper East)                                                                                                                                
3.2.1. NMP Bath (photomask cleaning)                                                                                                                                
3.4 Clean Anneal Furnace                                                                                                                                
3.5 GP Anneal Furnace                                                                                                                                
3.6 Boron Diffusion Furnace                                                                                                                                
3.7 Phosphorus Diffusion Furnace                                                                                                                                
3.8 UDOX Furnace                                                                                                                                
3.9 Clean Si Oxidation Furnace                                                                                                                                
4.4 Dektak 2A                                                                                                                                
4.5 Kyowa Microscope                                                                                                                                
4.6 Kyowa Zoom Stereo Microscope                                                                                                                                
4.7 Nikon Microscope                                                                                                                                
4.8 PDMS Station                                                                                                                                
4.9 Jipelec RTA                                                                                                                                
5.3 4-point Probe                                                                                                                                
5.4 Edwards Sputter                                                                                                                                
5.6 Edwards Evaporator                                                                                                                                
5.7.1 Oxford RIE                                                                                                                                
5.7.2 Oxford PECVD                                                                         SGS offine    
5.9 Raith 150 TWO                                                         Alison Goldingay                                                
6.0 Fume Cupboard (Resist Spinner, West White)                                                     Alison Goldingay                                                                        
6.1 Fume Cupboard (Dry Processing, West White)                                                                                                                                
6.2 Fume Cupboard (Wet Processing, West White)                                                                                                                                
6.3 Fume Cupboard (HF Processing, West White)                                                                                                                                
6.4 Olympus Stereo Microscope                                                                                                                                
6.5 Olympus Darkfield Microscope                                                                                                                                
6.5.1 Dektak 150                                                                                                                                
6.5.2 MA6 Aligner                                                                                                                                
6.5.3.1 GP ULVAC MILA-500 Annealing Furnace                                                                                                                                
6.5.6 Savannah ALD                                                                                                                                
6.5.8 Muffle Furnace                                                                                                                                
6.6 Fume Cupboard (Wet Processing, West Grey)                                                                                                                                
6.7 STS ICP-DRIE                                                                                                                                
6.8.1 TPT HB10 Thermosonic Au Ball Bonder                                                                                                                                
6.9 K and S Al Wedge Bonder                                                                                                                                
7.2 Lesker PVD 75 (GP)                 Arya Vasanth                 KAIWEN SUN                                                            
7.2.1 Lesker PVD 75 (Si)                             Vo Kim Hieu Van                                                                                    
7.2.2 HHV Sputterer                                                                                                                                
7.3 Woollam M2000 Ellipsometer                                                                                                                                
7.5 Cascade Probe Station                                                                                                                                
8.1 Fume Cupboard (Wet Processing, South Lab)                                                                                                                                
8.2 Veeco Gen930 III-V MBE                                                                                                                                
9.0 Fume Cupboard (Wet Processing, South Laser Lab)                                                                                                                                
9.1 Pascal LMBE Chamber A                             Meysam Amini Meysam Amini                                                        
9.2 Pascal LMBE Chamber B                                                                                                                                
AlphaPlasma Asher                                                                                                                                
Bruker Dimension Edge AFM                                                                                                                                
DektakXT                                                                                                                                
DMO ML3 Pro direct writer                                                     Zhewei Liu                                                            
F and S Bondtech 53XX-BDA wire bonder                                                                                                                                
GP RIE                                                                                                                                
MBE sample preparation                                                                                                                                
OEG MR200 diamond scriber                                                                                                                                
Olympus DSX1000 Digital Microscope                                                                                                                                
Oxford PlasmaPro 100 Cobra ICP RIE                                                                                                                                
Parylene Coater                                                                                                                                
Picosun R-200 ALD system                                                                                                                                
Raith Pioneer TWO                                                                                                                                
Tystar LPCVD Furnace System                                                                                                                                
Tystar LPCVD Furnace Tube 1 (Si3N4)                                                                                                                                
Tystar LPCVD Furnace Tube 2 (p-doped PolySi)                                                                                                                                
Tystar LPCVD Furnace Tube 3 (n-doped PolySi)                                                                                                                                
10.1 Fume Cupboard (Wet Processing, Ion Implanter)                                                                                                                                
10.1 IBS Ion Implanter                                                                                                                                
11 COMSOL Multiphysics                                                                                                                                
11.1 Woollam WVASE32                                                                                                                                
11.2 Raith Software                                                                                                                                
Friday, 13/09/2024 00:00 08:00 09:00 10:00 11:00 12:00 13:00 14:00 15:00 16:00 17:00 18:00 19:00 20:00 21:00 22:00 23:00
1.2 Fume Cupboard (Wet Processing, Lower East)                                                                                                                                
1.2.1 Decanted HF process                                                                                                                                
1.3 Fume Cupboard (Spinner, Lower East)                                                                                                                                
1.6 MJB3 Aligner                                                                                                                                
1.7 FEI XL30                                                                                                                                
1.8 FEI Sirion                                                                                                                                
2.1 Olympus Microscope                                                                                                                                
2.3 Denton Oxygen Asher (Lower East)                                                                                                                                
2.4 Lesker Thermal Evaporator                                                                                                                                
2.5 P-type Evaporator (Auto 306)                                                                                                                                
2.6 SET Al Evaporator (Auto 306)                                                                                                                                
2.7 Dicing Saw                                                                                                                                
2.8 GaAs ULVAC MILA-500 Annealing Furnace                                                                                                                                
3.0 Scriber (custom-made)                                                                                                                                
3.1 Fume Cupboard (Wet Processing, Upper East White)                                                                                                                                
3.1.1 HF constant temperature bath                                                                                                                                
3.1.2 TMAH etch                                                                                                                                
3.2 Fume Cupboard (Spinner, Upper East)                                                                                                                                
3.2.1. NMP Bath (photomask cleaning)                                                                                                                                
3.4 Clean Anneal Furnace                                                                                                                                
3.5 GP Anneal Furnace                                                                                                                                
3.6 Boron Diffusion Furnace                                                                                                                                
3.7 Phosphorus Diffusion Furnace                                                                                                                                
3.8 UDOX Furnace                                                                                                                                
3.9 Clean Si Oxidation Furnace                                                                                                                                
4.4 Dektak 2A                                                                                                                                
4.5 Kyowa Microscope                                                                                                                                
4.6 Kyowa Zoom Stereo Microscope                                                                                                                                
4.7 Nikon Microscope                                                                                                                                
4.8 PDMS Station                                                                                                                                
4.9 Jipelec RTA                                                                                                                                
5.3 4-point Probe                                                                                                                                
5.4 Edwards Sputter                                                                                                                                
5.6 Edwards Evaporator                                                                                                                                
5.7.1 Oxford RIE                                                                                                                                
5.7.2 Oxford PECVD                                                                         SGS offine    
5.9 Raith 150 TWO     Justin Brown             Pierrette Michaux                                                            
6.0 Fume Cupboard (Resist Spinner, West White)                                                                                                                                
6.1 Fume Cupboard (Dry Processing, West White)                                                                                                                                
6.2 Fume Cupboard (Wet Processing, West White)                                                                                                                                
6.3 Fume Cupboard (HF Processing, West White)                                                                                                                                
6.4 Olympus Stereo Microscope                                                                                                                                
6.5 Olympus Darkfield Microscope                                                                                                                                
6.5.1 Dektak 150                                                                                                                                
6.5.2 MA6 Aligner                                                                                                                                
6.5.3.1 GP ULVAC MILA-500 Annealing Furnace                                                                                                                                
6.5.6 Savannah ALD                                                                                                                                
6.5.8 Muffle Furnace                                                                                                                                
6.6 Fume Cupboard (Wet Processing, West Grey)                                                                                                                                
6.7 STS ICP-DRIE                                                                                                                                
6.8.1 TPT HB10 Thermosonic Au Ball Bonder                                                                                                                                
6.9 K and S Al Wedge Bonder                                                                                                                                
7.2 Lesker PVD 75 (GP)                                                 KAIWEN SUN                                                            
7.2.1 Lesker PVD 75 (Si)                                                                                                                                
7.2.2 HHV Sputterer                                                                                                                                
7.3 Woollam M2000 Ellipsometer                                                                                                                                
7.5 Cascade Probe Station                                                                                                                                
8.1 Fume Cupboard (Wet Processing, South Lab)                                                                                                                                
8.2 Veeco Gen930 III-V MBE                                                                                                                                
9.0 Fume Cupboard (Wet Processing, South Laser Lab)                                                                                                                                
9.1 Pascal LMBE Chamber A                                                                                                                                
9.2 Pascal LMBE Chamber B                                                                                                                                
AlphaPlasma Asher                                                                                                                                
Bruker Dimension Edge AFM                                                                                                                                
DektakXT                                                                                                                                
DMO ML3 Pro direct writer                                                                                                                                
F and S Bondtech 53XX-BDA wire bonder                                                                                                                                
GP RIE                                                                                                                                
MBE sample preparation                                                                                                                                
OEG MR200 diamond scriber                                                                                                                                
Olympus DSX1000 Digital Microscope                                                                                                                                
Oxford PlasmaPro 100 Cobra ICP RIE                                                                                                                                
Parylene Coater                                                                                                                                
Picosun R-200 ALD system                                                                                                                                
Raith Pioneer TWO             Yen Nee Ho                                                                                                            
Tystar LPCVD Furnace System                                                                                                                                
Tystar LPCVD Furnace Tube 1 (Si3N4)                                                                                                                                
Tystar LPCVD Furnace Tube 2 (p-doped PolySi)                                                                                                                                
Tystar LPCVD Furnace Tube 3 (n-doped PolySi)                                                                                                                                
10.1 Fume Cupboard (Wet Processing, Ion Implanter)                                                                                                                                
10.1 IBS Ion Implanter                                                                                                                                
11 COMSOL Multiphysics                                                                                                                                
11.1 Woollam WVASE32                                                                                                                                
11.2 Raith Software                                                                                                                                
Saturday, 14/09/2024 00:00 08:00 09:00 10:00 11:00 12:00 13:00 14:00 15:00 16:00 17:00 18:00 19:00 20:00 21:00 22:00 23:00
1.2 Fume Cupboard (Wet Processing, Lower East)                                                                                                                                
1.2.1 Decanted HF process                                                                                                                                
1.3 Fume Cupboard (Spinner, Lower East)                                                                                                                                
1.6 MJB3 Aligner                                                                                                                                
1.7 FEI XL30                                                                                                                                
1.8 FEI Sirion                                                                                                                                
2.1 Olympus Microscope                                                                                                                                
2.3 Denton Oxygen Asher (Lower East)                                                                                                                                
2.4 Lesker Thermal Evaporator                                                                                                                                
2.5 P-type Evaporator (Auto 306)                                                                                                                                
2.6 SET Al Evaporator (Auto 306)                                                                                                                                
2.7 Dicing Saw                                                                                                                                
2.8 GaAs ULVAC MILA-500 Annealing Furnace                                                                                                                                
3.0 Scriber (custom-made)                                                                                                                                
3.1 Fume Cupboard (Wet Processing, Upper East White)                                                                                                                                
3.1.1 HF constant temperature bath                                                                                                                                
3.1.2 TMAH etch                                                                                                                                
3.2 Fume Cupboard (Spinner, Upper East)                                                                                                                                
3.2.1. NMP Bath (photomask cleaning)                                                                                                                                
3.4 Clean Anneal Furnace                                                                                                                                
3.5 GP Anneal Furnace                                                                                                                                
3.6 Boron Diffusion Furnace                                                                                                                                
3.7 Phosphorus Diffusion Furnace                                                                                                                                
3.8 UDOX Furnace                                                                                                                                
3.9 Clean Si Oxidation Furnace                                                                                                                                
4.4 Dektak 2A                                                                                                                                
4.5 Kyowa Microscope                                                                                                                                
4.6 Kyowa Zoom Stereo Microscope                                                                                                                                
4.7 Nikon Microscope                                                                                                                                
4.8 PDMS Station                                                                                                                                
4.9 Jipelec RTA                                                                                                                                
5.3 4-point Probe                                                                                                                                
5.4 Edwards Sputter                                                                                                                                
5.6 Edwards Evaporator                                                                                                                                
5.7.1 Oxford RIE                                                                                                                                
5.7.2 Oxford PECVD                                                                         SGS offine    
5.9 Raith 150 TWO                                                                                                                                
6.0 Fume Cupboard (Resist Spinner, West White)                                                                                                                                
6.1 Fume Cupboard (Dry Processing, West White)                                                                                                                                
6.2 Fume Cupboard (Wet Processing, West White)                                                                                                                                
6.3 Fume Cupboard (HF Processing, West White)                                                                                                                                
6.4 Olympus Stereo Microscope                                                                                                                                
6.5 Olympus Darkfield Microscope                                                                                                                                
6.5.1 Dektak 150                                                                                                                                
6.5.2 MA6 Aligner                                                                                                                                
6.5.3.1 GP ULVAC MILA-500 Annealing Furnace                                                                                                                                
6.5.6 Savannah ALD                                                                                                                                
6.5.8 Muffle Furnace                                                                                                                                
6.6 Fume Cupboard (Wet Processing, West Grey)                                                                                                                                
6.7 STS ICP-DRIE                                                                                                                                
6.8.1 TPT HB10 Thermosonic Au Ball Bonder                                                                                                                                
6.9 K and S Al Wedge Bonder                                                                                                                                
7.2 Lesker PVD 75 (GP)                                                                                                                                
7.2.1 Lesker PVD 75 (Si)                                                                                                                                
7.2.2 HHV Sputterer                                                                                                                                
7.3 Woollam M2000 Ellipsometer                                                                                                                                
7.5 Cascade Probe Station                                                                                                                                
8.1 Fume Cupboard (Wet Processing, South Lab)                                                                                                                                
8.2 Veeco Gen930 III-V MBE                                                                                                                                
9.0 Fume Cupboard (Wet Processing, South Laser Lab)                                                                                                                                
9.1 Pascal LMBE Chamber A                                                                                                                                
9.2 Pascal LMBE Chamber B                                                                                                                                
AlphaPlasma Asher                                                                                                                                
Bruker Dimension Edge AFM                                                                                                                                
DektakXT                                                                                                                                
DMO ML3 Pro direct writer                                                                                                                                
F and S Bondtech 53XX-BDA wire bonder                                                                                                                                
GP RIE                                                                                                                                
MBE sample preparation                                                                                                                                
OEG MR200 diamond scriber                                                                                                                                
Olympus DSX1000 Digital Microscope                                                                                                                                
Oxford PlasmaPro 100 Cobra ICP RIE                                                                                                                                
Parylene Coater                                                                                                                                
Picosun R-200 ALD system                                                                                                                                
Raith Pioneer TWO                                                                                                                                
Tystar LPCVD Furnace System                                                                                                                                
Tystar LPCVD Furnace Tube 1 (Si3N4)                                                                                                                                
Tystar LPCVD Furnace Tube 2 (p-doped PolySi)                                                                                                                                
Tystar LPCVD Furnace Tube 3 (n-doped PolySi)                                                                                                                                
10.1 Fume Cupboard (Wet Processing, Ion Implanter)                                                                                                                                
10.1 IBS Ion Implanter                                                                                                                                
11 COMSOL Multiphysics                                                                                                                                
11.1 Woollam WVASE32                                                                                                                                
11.2 Raith Software                                                                                                                                
 
 
Today Back 08/09/2024 - 14/09/2024 Forward