Use the standard schedule display Use the tall schedule display
Show/Hide Navigation
Show Specific Dates
Today Back 02/04/2025 - 08/04/2025 Forward
Resource Filter Hide Reservation Filter
Wednesday, 02/04/2025 00:00 08:00 09:00 10:00 11:00 12:00 13:00 14:00 15:00 16:00 17:00 18:00 19:00 20:00 21:00 22:00 23:00
1.2 Fume Cupboard (Wet Processing, Lower East)                                                                                                                                
1.2.1 Decanted HF process                                                                                                                                
1.3 Fume Cupboard (Spinner, Lower East)                                                                                                                                
1.6 MJB3 Aligner                                                                                                                                
1.7 FEI XL30                                                                                                                                
1.8 FEI Sirion                                                                                                                                
2.1 Olympus Microscope                                                                                                                                
2.3 Denton Oxygen Asher (Lower East)                                                                                                                                
2.4 Lesker Thermal Evaporator o-ring replacement
2.5 P-type Evaporator (Auto 306)                                                                                                                                
2.6 SET Al Evaporator (Auto 306)                                                                                                                                
2.7 Dicing Saw                                                                                                                                
2.8 GaAs ULVAC MILA-500 Annealing Furnace                                                                                                                                
3.0 Scriber (custom-made)                                                                                                                                
3.1 Fume Cupboard (Wet Processing, Upper East White)                                 Eying Sim Wong                                                                                
3.1.1 HF constant temperature bath                                                                                                                                
3.1.2 TMAH etch                                                                                                                                
3.2 Fume Cupboard (Spinner, Upper East)                                                                                                                                
3.2.1. NMP Bath (photomask cleaning)                                                                                                                                
3.4 Clean Anneal Furnace                                                                                                                                
3.5 GP Anneal Furnace                                                                                                                                
3.6 Boron Diffusion Furnace                                                                                                                                
3.7 Phosphorus Diffusion Furnace                                                                                                                                
3.8 UDOX Furnace                                                                                                                                
3.9 Clean Si Oxidation Furnace                                                                                                                                
4.4 Dektak 2A                                                                                                                                
4.5 Kyowa Microscope                                                                                                                                
4.6 Kyowa Zoom Stereo Microscope                                                                                                                                
4.7 Nikon Microscope                                                                                                                                
4.8 PDMS Station                                                                                                                                
4.9 Jipelec RTA                                                                                                                                
5.3 4-point Probe                                                                                                                                
5.4 Edwards Sputter                                                                                                                                
5.7.1 Oxford RIE                                                                                                                                
5.7.2 Oxford PECVD                                                                         SGS offine    
5.9 Raith 150 TWO         Justin Brown Jianfu (Jeff) Wang Subhashish Barik Eying Sim Wong                                                
6.0 Fume Cupboard (Resist Spinner, West White)               Yen Nee Ho                                             Eying Sim Wong                                                              
6.1 Fume Cupboard (Dry Processing, West White)                                                                                                                                
6.2 Fume Cupboard (Wet Processing, West White)                                                                                                                                
6.3 Fume Cupboard (HF Processing, West White)                                                                                                                                
6.4 Olympus Stereo Microscope                                                                                                                                
6.5 Olympus Darkfield Microscope                                                                                                                                
6.5.1 Dektak 150                                                                                                                                
6.5.2 MA6 Aligner                     Vo Kim Hieu Van                                                                                                    
6.5.3.1 GP ULVAC MILA-500 Annealing Furnace                                                                                                                                
6.5.6 Savannah ALD Chmber cleaning required after incident
6.5.8 Muffle Furnace                                                                                                                                
6.6 Fume Cupboard (Wet Processing, West Grey)                                                                                                                                
6.7 STS ICP-DRIE                                                                                                                                
6.8.1 TPT HB10 Thermosonic Au Ball Bonder                                                                                                                                
6.9 K and S Al Wedge Bonder                                                                                                                                
7.2 Lesker PVD 75 (GP)                                                                 Krittika Kumar                                                
7.2.1 Lesker PVD 75 (Si)                                                                                                                                
7.2.2 HHV Sputterer                                                                                                                                
7.3 Woollam M2000 Ellipsometer                                                                                                                                
7.5 Cascade Probe Station                                                                                                                                
8.1 Fume Cupboard (Wet Processing, South Lab)                                                                                                                                
8.2 Veeco Gen930 III-V MBE                                                                                                                                
9.0 Fume Cupboard (Wet Processing, South Laser Lab)                                                                                                                                
9.1 Pascal LMBE Chamber A         Yifan Xue                 Yifan Xue                                                                        
9.2 Pascal LMBE Chamber B                         Siyuan Zhang                                                        
AlphaPlasma Asher                                                                                                                                
Bruker Dimension Edge AFM                                                                                                                                
DektakXT                               Eying Sim Wong                                                                                                
DMO ML3 Pro direct writer                     Yen Nee Ho Leon Luo Benoit Voisin Daisy Wang Leon Luo                                                        
F and S Bondtech 53XX-BDA wire bonder                                                                                                                                
GP RIE                                                                                                                                
MBE sample preparation                                                                                                                                
OEG MR200 diamond scriber                                                                                                                                
Olympus DSX1000 Digital Microscope                                                                                                                                
Oxford PlasmaPro 100 Cobra ICP RIE                                                                                                                                
Parylene Coater                                                                                                                                
Picosun R-200 ALD system                                                                                                                                
Raith Pioneer TWO                                                                                                                                
Tystar LPCVD Furnace System                                                                                                                                
Tystar LPCVD Furnace Tube 1 (Si3N4)                                                                                                                                
Tystar LPCVD Furnace Tube 2 (p-doped PolySi)                                                                                                                                
Tystar LPCVD Furnace Tube 3 (n-doped PolySi)                                                                                                                                
10.1 Fume Cupboard (Wet Processing, Ion Implanter)                                                                                                                                
10.1 IBS Ion Implanter                                                                                                                                
11 COMSOL Multiphysics                                                                                                                                
11.1 Woollam WVASE32                                                                                                                                
11.2 Raith Software                                                                                                                                
Thursday, 03/04/2025 00:00 08:00 09:00 10:00 11:00 12:00 13:00 14:00 15:00 16:00 17:00 18:00 19:00 20:00 21:00 22:00 23:00
1.2 Fume Cupboard (Wet Processing, Lower East)                                                                                                                                
1.2.1 Decanted HF process                                                                                                                                
1.3 Fume Cupboard (Spinner, Lower East)                                                                                                                                
1.6 MJB3 Aligner                                                                                                                                
1.7 FEI XL30                                                                                                                                
1.8 FEI Sirion                                                                                                                                
2.1 Olympus Microscope                                                                                                                                
2.3 Denton Oxygen Asher (Lower East)                                                                                                                                
2.4 Lesker Thermal Evaporator o-ring replacement
2.5 P-type Evaporator (Auto 306)                                                                                                                                
2.6 SET Al Evaporator (Auto 306)                                                                                                                                
2.7 Dicing Saw                                                                                                                                
2.8 GaAs ULVAC MILA-500 Annealing Furnace                                                                                                                                
3.0 Scriber (custom-made)                                                                                                                                
3.1 Fume Cupboard (Wet Processing, Upper East White)             chuka madumelu                 chuka madumelu                                                            
3.1.1 HF constant temperature bath                                                                                                                                
3.1.2 TMAH etch                                                                                                                                
3.2 Fume Cupboard (Spinner, Upper East)             chuka madumelu                                                                                                        
3.2.1. NMP Bath (photomask cleaning)                                                                 Alison Goldingay
3.4 Clean Anneal Furnace                                                                                                                                
3.5 GP Anneal Furnace                                                                                                                                
3.6 Boron Diffusion Furnace                                                                                                                                
3.7 Phosphorus Diffusion Furnace                                                                                                                                
3.8 UDOX Furnace                                                                                                                                
3.9 Clean Si Oxidation Furnace                                                                                                                                
4.4 Dektak 2A                                                                                                                                
4.5 Kyowa Microscope                                                                                                                                
4.6 Kyowa Zoom Stereo Microscope                                                                                                                                
4.7 Nikon Microscope                                                                                                                                
4.8 PDMS Station                                                                                                                                
4.9 Jipelec RTA                                                                                                                                
5.3 4-point Probe                                                                                                                                
5.4 Edwards Sputter                                                                                                                                
5.7.1 Oxford RIE                                                                                                                                
5.7.2 Oxford PECVD                                 Zhiyuan Chen                               SGS offine    
5.9 Raith 150 TWO         Laura O'Neill Jianfu (Jeff) Wang     Mrigendra Yadav                                                    
6.0 Fume Cupboard (Resist Spinner, West White)                                                     Mrigendra Yadav                                                                        
6.1 Fume Cupboard (Dry Processing, West White)                                                                                                                                
6.2 Fume Cupboard (Wet Processing, West White)                                                                                                                                
6.3 Fume Cupboard (HF Processing, West White)                                                                                                                                
6.4 Olympus Stereo Microscope                                                                                                                                
6.5 Olympus Darkfield Microscope                                                                                                                                
6.5.1 Dektak 150                                                                                                                                
6.5.2 MA6 Aligner                                                 Vo Kim Hieu Van Vo Kim Hieu Van                                                                        
6.5.3.1 GP ULVAC MILA-500 Annealing Furnace                                                                                                                                
6.5.6 Savannah ALD Chmber cleaning required after incident
6.5.8 Muffle Furnace                                                                                                                                
6.6 Fume Cupboard (Wet Processing, West Grey)                                                                                                                                
6.7 STS ICP-DRIE                                                                                                                                
6.8.1 TPT HB10 Thermosonic Au Ball Bonder                                                                                                                                
6.9 K and S Al Wedge Bonder                                                 Daisy Wang                                                                
7.2 Lesker PVD 75 (GP)                                                                                                                                
7.2.1 Lesker PVD 75 (Si)                         Kok Wai Chan-IR                                                                                            
7.2.2 HHV Sputterer                                                                                                                                
7.3 Woollam M2000 Ellipsometer                                                                                                                                
7.5 Cascade Probe Station                                                                                                                                
8.1 Fume Cupboard (Wet Processing, South Lab)                                                                                                                                
8.2 Veeco Gen930 III-V MBE                                                                                                                                
9.0 Fume Cupboard (Wet Processing, South Laser Lab)                                                                                                                                
9.1 Pascal LMBE Chamber A         Yifan Xue         Yifan Xue                                                                                        
9.2 Pascal LMBE Chamber B         Jeff Cheung-CSIRO                                                                                        
AlphaPlasma Asher                                                                                                                                
Bruker Dimension Edge AFM                                                                                                                                
DektakXT                                                                                                                                
DMO ML3 Pro direct writer       Venkatesh Chenniappan   Tim Botzem Vo Kim Hieu Van Jianfu (Jeff) Wang Pierrette Michaux Yuhan Zeng                                                        
F and S Bondtech 53XX-BDA wire bonder                                                                                                                                
GP RIE                                                                                                                                
MBE sample preparation                                                                                                                                
OEG MR200 diamond scriber                                                                                                                                
Olympus DSX1000 Digital Microscope                                                                                                                                
Oxford PlasmaPro 100 Cobra ICP RIE                                                                                                                                
Parylene Coater                                                                                                                                
Picosun R-200 ALD system                                                                                                                                
Raith Pioneer TWO                                                                                                                                
Tystar LPCVD Furnace System                                                                                                                                
Tystar LPCVD Furnace Tube 1 (Si3N4)                                                                                                                                
Tystar LPCVD Furnace Tube 2 (p-doped PolySi)                                                                                                                                
Tystar LPCVD Furnace Tube 3 (n-doped PolySi)                                                                                                                                
10.1 Fume Cupboard (Wet Processing, Ion Implanter)                                                                                                                                
10.1 IBS Ion Implanter                                                                                                                                
11 COMSOL Multiphysics                                                                                                                                
11.1 Woollam WVASE32                                                                                                                                
11.2 Raith Software                                                                                                                                
Friday, 04/04/2025 00:00 08:00 09:00 10:00 11:00 12:00 13:00 14:00 15:00 16:00 17:00 18:00 19:00 20:00 21:00 22:00 23:00
1.2 Fume Cupboard (Wet Processing, Lower East)                                                                                                                                
1.2.1 Decanted HF process                                                                                                                                
1.3 Fume Cupboard (Spinner, Lower East)                                                                                                                                
1.6 MJB3 Aligner                                                                                                                                
1.7 FEI XL30                                                                                                                                
1.8 FEI Sirion                                                                                                                                
2.1 Olympus Microscope                                                                                                                                
2.3 Denton Oxygen Asher (Lower East)                                                                                                                                
2.4 Lesker Thermal Evaporator o-ring replacement
2.5 P-type Evaporator (Auto 306)                                                                                                                                
2.6 SET Al Evaporator (Auto 306)                                                                                                                                
2.7 Dicing Saw                                                                                                                                
2.8 GaAs ULVAC MILA-500 Annealing Furnace                                                                                                                                
3.0 Scriber (custom-made)                                                                                                                                
3.1 Fume Cupboard (Wet Processing, Upper East White)             chuka madumelu                     joanna szymanska                                                                            
3.1.1 HF constant temperature bath                                                                                                                                
3.1.2 TMAH etch                                                                                                                                
3.2 Fume Cupboard (Spinner, Upper East)                                                                                                                                
3.2.1. NMP Bath (photomask cleaning) Alison Goldingay                                                                                                        
3.4 Clean Anneal Furnace                                                                                                                                
3.5 GP Anneal Furnace                                                                                                                                
3.6 Boron Diffusion Furnace                                                                                                                                
3.7 Phosphorus Diffusion Furnace                                                                                                                                
3.8 UDOX Furnace                                                                                                                                
3.9 Clean Si Oxidation Furnace                                                                                                                                
4.4 Dektak 2A                                                                                                                                
4.5 Kyowa Microscope                                                                                                                                
4.6 Kyowa Zoom Stereo Microscope                                                                                                                                
4.7 Nikon Microscope                                                                                                                                
4.8 PDMS Station                                                                                                                                
4.9 Jipelec RTA                                                                                                                                
5.3 4-point Probe                                                                                                                                
5.4 Edwards Sputter                                                                                                                                
5.7.1 Oxford RIE                                                                                                                                
5.7.2 Oxford PECVD                                                                         SGS offine    
5.9 Raith 150 TWO Anthony El-Helou Fati Khosravi Lukas Delventhal                                                    
6.0 Fume Cupboard (Resist Spinner, West White)                                                                                                                                
6.1 Fume Cupboard (Dry Processing, West White)                                                                                                                                
6.2 Fume Cupboard (Wet Processing, West White)                                                                                                                                
6.3 Fume Cupboard (HF Processing, West White)                                                                                                                                
6.4 Olympus Stereo Microscope                                                                                                                                
6.5 Olympus Darkfield Microscope                                                                                                                                
6.5.1 Dektak 150                                                                                                                                
6.5.2 MA6 Aligner                                                                                                                                
6.5.3.1 GP ULVAC MILA-500 Annealing Furnace                                                                                                                                
6.5.6 Savannah ALD Chmber cleaning required after incident
6.5.8 Muffle Furnace                                                                                                                                
6.6 Fume Cupboard (Wet Processing, West Grey)                                                                                                                                
6.7 STS ICP-DRIE                                                                                                                                
6.8.1 TPT HB10 Thermosonic Au Ball Bonder                                                                                                                                
6.9 K and S Al Wedge Bonder                                                                                                                                
7.2 Lesker PVD 75 (GP)                       KAIWEN SUN                                                                                    
7.2.1 Lesker PVD 75 (Si)                                                                                                                                
7.2.2 HHV Sputterer                                                                                                                                
7.3 Woollam M2000 Ellipsometer                                                                                                                                
7.5 Cascade Probe Station                                                                                                                                
8.1 Fume Cupboard (Wet Processing, South Lab)                                                                                                                                
8.2 Veeco Gen930 III-V MBE                                                                                                                                
9.0 Fume Cupboard (Wet Processing, South Laser Lab)                                                                                                                                
9.1 Pascal LMBE Chamber A                         Qingxiao Meng         Qingxiao Meng                                                                
9.2 Pascal LMBE Chamber B                                                                                                                                
AlphaPlasma Asher                                                                                                                                
Bruker Dimension Edge AFM                                                                                                                                
DektakXT                                                                                                                                
DMO ML3 Pro direct writer     Leon Luo Tim Botzem Leon Luo Yanan Xu     Yuhan Zeng                                                
F and S Bondtech 53XX-BDA wire bonder                                                                                                                                
GP RIE                                                                                                                                
MBE sample preparation                                                                                                                                
OEG MR200 diamond scriber                                                                                                                                
Olympus DSX1000 Digital Microscope                                                                                                                                
Oxford PlasmaPro 100 Cobra ICP RIE                                                                                                                                
Parylene Coater                                                                                                                                
Picosun R-200 ALD system                                                                                                                                
Raith Pioneer TWO                                                                                                                                
Tystar LPCVD Furnace System                                                                                                                                
Tystar LPCVD Furnace Tube 1 (Si3N4)                                                                                                                                
Tystar LPCVD Furnace Tube 2 (p-doped PolySi)                                                                                                                                
Tystar LPCVD Furnace Tube 3 (n-doped PolySi)                                                                                                                                
10.1 Fume Cupboard (Wet Processing, Ion Implanter)                                                                                                                                
10.1 IBS Ion Implanter                                                                                                                                
11 COMSOL Multiphysics                                                                                                                                
11.1 Woollam WVASE32                                                                                                                                
11.2 Raith Software                                                                                                                                
Saturday, 05/04/2025 00:00 08:00 09:00 10:00 11:00 12:00 13:00 14:00 15:00 16:00 17:00 18:00 19:00 20:00 21:00 22:00 23:00
1.2 Fume Cupboard (Wet Processing, Lower East)                                                                                                                                
1.2.1 Decanted HF process                                                                                                                                
1.3 Fume Cupboard (Spinner, Lower East)                                                                                                                                
1.6 MJB3 Aligner                                                                                                                                
1.7 FEI XL30                                                                                                                                
1.8 FEI Sirion                                                                                                                                
2.1 Olympus Microscope                                                                                                                                
2.3 Denton Oxygen Asher (Lower East)                                                                                                                                
2.4 Lesker Thermal Evaporator o-ring replacement
2.5 P-type Evaporator (Auto 306)                                                                                                                                
2.6 SET Al Evaporator (Auto 306)                                                                                                                                
2.7 Dicing Saw                                                                                                                                
2.8 GaAs ULVAC MILA-500 Annealing Furnace                                                                                                                                
3.0 Scriber (custom-made)                                                                                                                                
3.1 Fume Cupboard (Wet Processing, Upper East White)                                                                                                                                
3.1.1 HF constant temperature bath                                                                                                                                
3.1.2 TMAH etch                                                                                                                                
3.2 Fume Cupboard (Spinner, Upper East)                                                                                                                                
3.2.1. NMP Bath (photomask cleaning)                                                                                                                                
3.4 Clean Anneal Furnace                                                                                                                                
3.5 GP Anneal Furnace                                                                                                                                
3.6 Boron Diffusion Furnace                                                                                                                                
3.7 Phosphorus Diffusion Furnace                                                                                                                                
3.8 UDOX Furnace                                                                                                                                
3.9 Clean Si Oxidation Furnace                                                                                                                                
4.4 Dektak 2A                                                                                                                                
4.5 Kyowa Microscope                                                                                                                                
4.6 Kyowa Zoom Stereo Microscope                                                                                                                                
4.7 Nikon Microscope                                                                                                                                
4.8 PDMS Station                                                                                                                                
4.9 Jipelec RTA                                                                                                                                
5.3 4-point Probe                                                                                                                                
5.4 Edwards Sputter                                                                                                                                
5.7.1 Oxford RIE                                                                                                                                
5.7.2 Oxford PECVD                                                                         SGS offine    
5.9 Raith 150 TWO                                                                                                                                
6.0 Fume Cupboard (Resist Spinner, West White)                                                                                                                                
6.1 Fume Cupboard (Dry Processing, West White)                                                                                                                                
6.2 Fume Cupboard (Wet Processing, West White)                                                                                                                                
6.3 Fume Cupboard (HF Processing, West White)                                                                                                                                
6.4 Olympus Stereo Microscope                                                                                                                                
6.5 Olympus Darkfield Microscope                                                                                                                                
6.5.1 Dektak 150                                                                                                                                
6.5.2 MA6 Aligner                                                                                                                                
6.5.3.1 GP ULVAC MILA-500 Annealing Furnace                                                                                                                                
6.5.6 Savannah ALD Chmber cleaning required after incident
6.5.8 Muffle Furnace                                                                                                                                
6.6 Fume Cupboard (Wet Processing, West Grey)                                                                                                                                
6.7 STS ICP-DRIE                                                                                                                                
6.8.1 TPT HB10 Thermosonic Au Ball Bonder                                                                                                                                
6.9 K and S Al Wedge Bonder                                                                                                                                
7.2 Lesker PVD 75 (GP)                                                                                                                                
7.2.1 Lesker PVD 75 (Si)                                                                                                                                
7.2.2 HHV Sputterer                                                                                                                                
7.3 Woollam M2000 Ellipsometer                                                                                                                                
7.5 Cascade Probe Station                                                                                                                                
8.1 Fume Cupboard (Wet Processing, South Lab)                                                                                                                                
8.2 Veeco Gen930 III-V MBE                                                                                                                                
9.0 Fume Cupboard (Wet Processing, South Laser Lab)                                                                                                                                
9.1 Pascal LMBE Chamber A                                                                                                                                
9.2 Pascal LMBE Chamber B                                                                                                                                
AlphaPlasma Asher                                                                                                                                
Bruker Dimension Edge AFM                                                                                                                                
DektakXT                                                                                                                                
DMO ML3 Pro direct writer                                                                                                                                
F and S Bondtech 53XX-BDA wire bonder                                                                                                                                
GP RIE                                                                                                                                
MBE sample preparation                                                                                                                                
OEG MR200 diamond scriber                                                                                                                                
Olympus DSX1000 Digital Microscope                                                                                                                                
Oxford PlasmaPro 100 Cobra ICP RIE                                                                                                                                
Parylene Coater                                                                                                                                
Picosun R-200 ALD system                                                                                                                                
Raith Pioneer TWO                                                                                                                                
Tystar LPCVD Furnace System                                                                                                                                
Tystar LPCVD Furnace Tube 1 (Si3N4)                                                                                                                                
Tystar LPCVD Furnace Tube 2 (p-doped PolySi)                                                                                                                                
Tystar LPCVD Furnace Tube 3 (n-doped PolySi)                                                                                                                                
10.1 Fume Cupboard (Wet Processing, Ion Implanter)                                                                                                                                
10.1 IBS Ion Implanter                                                                                                                                
11 COMSOL Multiphysics                                                                                                                                
11.1 Woollam WVASE32                                                                                                                                
11.2 Raith Software                                                                                                                                
Sunday, 06/04/2025 00:00 08:00 09:00 10:00 11:00 12:00 13:00 14:00 15:00 16:00 17:00 18:00 19:00 20:00 21:00 22:00 23:00
1.2 Fume Cupboard (Wet Processing, Lower East)                                                                                                                                
1.2.1 Decanted HF process                                                                                                                                
1.3 Fume Cupboard (Spinner, Lower East)                                                                                                                                
1.6 MJB3 Aligner                                                                                                                                
1.7 FEI XL30                                                                                                                                
1.8 FEI Sirion                                                                                                                                
2.1 Olympus Microscope                                                                                                                                
2.3 Denton Oxygen Asher (Lower East)                                                                                                                                
2.4 Lesker Thermal Evaporator o-ring replacement
2.5 P-type Evaporator (Auto 306)                                                                                                                                
2.6 SET Al Evaporator (Auto 306)                                                                                                                                
2.7 Dicing Saw                                                                                                                                
2.8 GaAs ULVAC MILA-500 Annealing Furnace                                                                                                                                
3.0 Scriber (custom-made)                                                                                                                                
3.1 Fume Cupboard (Wet Processing, Upper East White)                                                                                                                                
3.1.1 HF constant temperature bath                                                                                                                                
3.1.2 TMAH etch                                                                                                                                
3.2 Fume Cupboard (Spinner, Upper East)                                                                                                                                
3.2.1. NMP Bath (photomask cleaning)                                                                                                                                
3.4 Clean Anneal Furnace                                                                                                                                
3.5 GP Anneal Furnace                                                                                                                                
3.6 Boron Diffusion Furnace                                                                                                                                
3.7 Phosphorus Diffusion Furnace                                                                                                                                
3.8 UDOX Furnace                                                                                                                                
3.9 Clean Si Oxidation Furnace                                                                                                                                
4.4 Dektak 2A                                                                                                                                
4.5 Kyowa Microscope                                                                                                                                
4.6 Kyowa Zoom Stereo Microscope                                                                                                                                
4.7 Nikon Microscope                                                                                                                                
4.8 PDMS Station                                                                                                                                
4.9 Jipelec RTA                                                                                                                                
5.3 4-point Probe                                                                                                                                
5.4 Edwards Sputter                                                                                                                                
5.7.1 Oxford RIE                                                                                                                                
5.7.2 Oxford PECVD                                                                         SGS offine    
5.9 Raith 150 TWO                                                                                                                                
6.0 Fume Cupboard (Resist Spinner, West White)                                                                                                                                
6.1 Fume Cupboard (Dry Processing, West White)                                                                                                                                
6.2 Fume Cupboard (Wet Processing, West White)                                                                                                                                
6.3 Fume Cupboard (HF Processing, West White)                                                                                                                                
6.4 Olympus Stereo Microscope                                                                                                                                
6.5 Olympus Darkfield Microscope                                                                                                                                
6.5.1 Dektak 150                                                                                                                                
6.5.2 MA6 Aligner                                                                                                                                
6.5.3.1 GP ULVAC MILA-500 Annealing Furnace                                                                                                                                
6.5.6 Savannah ALD Chmber cleaning required after incident
6.5.8 Muffle Furnace                                                                                                                                
6.6 Fume Cupboard (Wet Processing, West Grey)                                                                                                                                
6.7 STS ICP-DRIE                                                                                                                                
6.8.1 TPT HB10 Thermosonic Au Ball Bonder                                                                                                                                
6.9 K and S Al Wedge Bonder                                                                                                                                
7.2 Lesker PVD 75 (GP)                                                                                                                                
7.2.1 Lesker PVD 75 (Si)                                                                                                                                
7.2.2 HHV Sputterer                                                                                                                                
7.3 Woollam M2000 Ellipsometer                                                                                                                                
7.5 Cascade Probe Station                                                                                                                                
8.1 Fume Cupboard (Wet Processing, South Lab)                                                                                                                                
8.2 Veeco Gen930 III-V MBE                                                                                                                                
9.0 Fume Cupboard (Wet Processing, South Laser Lab)                                                                                                                                
9.1 Pascal LMBE Chamber A                                                                                                                                
9.2 Pascal LMBE Chamber B                                                                                                                                
AlphaPlasma Asher                                                                                                                                
Bruker Dimension Edge AFM                                                                                                                                
DektakXT                                                                                                                                
DMO ML3 Pro direct writer                                                                                                                                
F and S Bondtech 53XX-BDA wire bonder                                                                                                                                
GP RIE                                                                                                                                
MBE sample preparation                                                                                                                                
OEG MR200 diamond scriber                                                                                                                                
Olympus DSX1000 Digital Microscope                                                                                                                                
Oxford PlasmaPro 100 Cobra ICP RIE                                                                                                                                
Parylene Coater                                                                                                                                
Picosun R-200 ALD system                                                                                                                                
Raith Pioneer TWO                                                                                                                                
Tystar LPCVD Furnace System                                                                                                                                
Tystar LPCVD Furnace Tube 1 (Si3N4)                                                                                                                                
Tystar LPCVD Furnace Tube 2 (p-doped PolySi)                                                                                                                                
Tystar LPCVD Furnace Tube 3 (n-doped PolySi)                                                                                                                                
10.1 Fume Cupboard (Wet Processing, Ion Implanter)                                                                                                                                
10.1 IBS Ion Implanter                                                                                                                                
11 COMSOL Multiphysics                                                                                                                                
11.1 Woollam WVASE32                                                                                                                                
11.2 Raith Software                                                                                                                                
Monday, 07/04/2025 00:00 08:00 09:00 10:00 11:00 12:00 13:00 14:00 15:00 16:00 17:00 18:00 19:00 20:00 21:00 22:00 23:00
1.2 Fume Cupboard (Wet Processing, Lower East)                                                                                                                                
1.2.1 Decanted HF process                                                                                                                                
1.3 Fume Cupboard (Spinner, Lower East)                                                                                                                                
1.6 MJB3 Aligner                                                                                                                                
1.7 FEI XL30                                                                                                                                
1.8 FEI Sirion                                                                                                                                
2.1 Olympus Microscope                                                                                                                                
2.3 Denton Oxygen Asher (Lower East)                                                                                                                                
2.4 Lesker Thermal Evaporator o-ring replacement                                                
2.5 P-type Evaporator (Auto 306)                                                                                                                                
2.6 SET Al Evaporator (Auto 306)                                                                                                                                
2.7 Dicing Saw                                                                                                                                
2.8 GaAs ULVAC MILA-500 Annealing Furnace                                                                                                                                
3.0 Scriber (custom-made)                                                                                                                                
3.1 Fume Cupboard (Wet Processing, Upper East White)                                                                                                                                
3.1.1 HF constant temperature bath                                                                                                                                
3.1.2 TMAH etch                                                                                                                                
3.2 Fume Cupboard (Spinner, Upper East)                                                                                                                                
3.2.1. NMP Bath (photomask cleaning)                                                                                                                                
3.4 Clean Anneal Furnace                                                                                                                                
3.5 GP Anneal Furnace                                                                                                                                
3.6 Boron Diffusion Furnace                                                                                                                                
3.7 Phosphorus Diffusion Furnace                                                                                                                                
3.8 UDOX Furnace                                                                                                                                
3.9 Clean Si Oxidation Furnace                                                                                                                                
4.4 Dektak 2A                                                                                                                                
4.5 Kyowa Microscope                                                                                                                                
4.6 Kyowa Zoom Stereo Microscope                                                                                                                                
4.7 Nikon Microscope                                                                                                                                
4.8 PDMS Station                                                                                                                                
4.9 Jipelec RTA                                                                                                                                
5.3 4-point Probe                                                                                                                                
5.4 Edwards Sputter                                                                                                                                
5.7.1 Oxford RIE                                                                                                                                
5.7.2 Oxford PECVD                                                                         SGS offine    
5.9 Raith 150 TWO         Nikhil Maka                 Jianfu (Jeff) Wang                                
6.0 Fume Cupboard (Resist Spinner, West White)                                                                                                                                
6.1 Fume Cupboard (Dry Processing, West White)                                                                                                                                
6.2 Fume Cupboard (Wet Processing, West White)                                                                                                                                
6.3 Fume Cupboard (HF Processing, West White)                                                                                                                                
6.4 Olympus Stereo Microscope                                                                                                                                
6.5 Olympus Darkfield Microscope                                                                                                                                
6.5.1 Dektak 150                                                                                                                                
6.5.2 MA6 Aligner                                                                                                                                
6.5.3.1 GP ULVAC MILA-500 Annealing Furnace                                                                                                                                
6.5.6 Savannah ALD Chmber cleaning required after incident
6.5.8 Muffle Furnace                                                                                                                                
6.6 Fume Cupboard (Wet Processing, West Grey)                                                                                                                                
6.7 STS ICP-DRIE                                                                                                                                
6.8.1 TPT HB10 Thermosonic Au Ball Bonder                                                                                                                                
6.9 K and S Al Wedge Bonder                                                                                                                                
7.2 Lesker PVD 75 (GP)                                                                                                                                
7.2.1 Lesker PVD 75 (Si)                                                                                                                                
7.2.2 HHV Sputterer                                                                                                                                
7.3 Woollam M2000 Ellipsometer                                                                                                                                
7.5 Cascade Probe Station                                                                                                                                
8.1 Fume Cupboard (Wet Processing, South Lab)                                                                                                                                
8.2 Veeco Gen930 III-V MBE                                                                                                                                
9.0 Fume Cupboard (Wet Processing, South Laser Lab)                                                                                                                                
9.1 Pascal LMBE Chamber A                     Akbar Davoodi jamaloei                                                                                
9.2 Pascal LMBE Chamber B                                                                                                                                
AlphaPlasma Asher                                                                                                                                
Bruker Dimension Edge AFM                                                                                                                                
DektakXT                                                                                                                                
DMO ML3 Pro direct writer                 Maxime Pozzi                                                                                                
F and S Bondtech 53XX-BDA wire bonder                                                                                                                                
GP RIE                                                                                                                                
MBE sample preparation                                                                                                                                
OEG MR200 diamond scriber                                                                                                                                
Olympus DSX1000 Digital Microscope                                                                                                                                
Oxford PlasmaPro 100 Cobra ICP RIE                                                                                                                                
Parylene Coater                                                                                                                                
Picosun R-200 ALD system                                                                                                                                
Raith Pioneer TWO                                                                                                                                
Tystar LPCVD Furnace System                                                                                                                                
Tystar LPCVD Furnace Tube 1 (Si3N4)                                                                                                                                
Tystar LPCVD Furnace Tube 2 (p-doped PolySi)                                                                                                                                
Tystar LPCVD Furnace Tube 3 (n-doped PolySi)                                                                                                                                
10.1 Fume Cupboard (Wet Processing, Ion Implanter)                                                                                                                                
10.1 IBS Ion Implanter                                                                                                                                
11 COMSOL Multiphysics                                                                                                                                
11.1 Woollam WVASE32                                                                                                                                
11.2 Raith Software                                                                                                                                
Tuesday, 08/04/2025 00:00 08:00 09:00 10:00 11:00 12:00 13:00 14:00 15:00 16:00 17:00 18:00 19:00 20:00 21:00 22:00 23:00
1.2 Fume Cupboard (Wet Processing, Lower East)                                                                                                                                
1.2.1 Decanted HF process                                                                                                                                
1.3 Fume Cupboard (Spinner, Lower East)                                                                                                                                
1.6 MJB3 Aligner                                                                                                                                
1.7 FEI XL30                                                                                                                                
1.8 FEI Sirion                                                                                                                                
2.1 Olympus Microscope                                                                                                                                
2.3 Denton Oxygen Asher (Lower East)                                                                                                                                
2.4 Lesker Thermal Evaporator                                                                                                                                
2.5 P-type Evaporator (Auto 306)                                                                                                                                
2.6 SET Al Evaporator (Auto 306)                                                                                                                                
2.7 Dicing Saw                                                                                                                                
2.8 GaAs ULVAC MILA-500 Annealing Furnace                                                                                                                                
3.0 Scriber (custom-made)                                                                                                                                
3.1 Fume Cupboard (Wet Processing, Upper East White)                                                                                                                                
3.1.1 HF constant temperature bath                                                                                                                                
3.1.2 TMAH etch                                                                                                                                
3.2 Fume Cupboard (Spinner, Upper East)                                                                                                                                
3.2.1. NMP Bath (photomask cleaning)                                                                                                                                
3.4 Clean Anneal Furnace                                                                                                                                
3.5 GP Anneal Furnace                                                                                                                                
3.6 Boron Diffusion Furnace                                                                                                                                
3.7 Phosphorus Diffusion Furnace                                                                                                                                
3.8 UDOX Furnace                                                                                                                                
3.9 Clean Si Oxidation Furnace                                                                                                                                
4.4 Dektak 2A                                                                                                                                
4.5 Kyowa Microscope                                                                                                                                
4.6 Kyowa Zoom Stereo Microscope                                                                                                                                
4.7 Nikon Microscope                                                                                                                                
4.8 PDMS Station                                                                                                                                
4.9 Jipelec RTA                                                                                                                                
5.3 4-point Probe                                                                                                                                
5.4 Edwards Sputter                                                                                                                                
5.7.1 Oxford RIE                                                                                                                                
5.7.2 Oxford PECVD                                                                         SGS offine    
5.9 Raith 150 TWO         Anthony El-Helou                     joanna szymanska                                                    
6.0 Fume Cupboard (Resist Spinner, West White)                                                                                                                                
6.1 Fume Cupboard (Dry Processing, West White)                                                                                                                                
6.2 Fume Cupboard (Wet Processing, West White)                                                                                                                                
6.3 Fume Cupboard (HF Processing, West White)                                                                                                                                
6.4 Olympus Stereo Microscope                                                                                                                                
6.5 Olympus Darkfield Microscope                                                                                                                                
6.5.1 Dektak 150                                                                                                                                
6.5.2 MA6 Aligner                                                                                                                                
6.5.3.1 GP ULVAC MILA-500 Annealing Furnace                                                                                                                                
6.5.6 Savannah ALD Chmber cleaning required after incident
6.5.8 Muffle Furnace                                                                                                                                
6.6 Fume Cupboard (Wet Processing, West Grey)                                                                                                                                
6.7 STS ICP-DRIE                                                                                                                                
6.8.1 TPT HB10 Thermosonic Au Ball Bonder                                                                                                                                
6.9 K and S Al Wedge Bonder                                                                                                                                
7.2 Lesker PVD 75 (GP)                                                                                                                                
7.2.1 Lesker PVD 75 (Si)                                                                                                                                
7.2.2 HHV Sputterer                                                                                                                                
7.3 Woollam M2000 Ellipsometer                                                                                                                                
7.5 Cascade Probe Station                                                                                                                                
8.1 Fume Cupboard (Wet Processing, South Lab)                                                                                                                                
8.2 Veeco Gen930 III-V MBE                                                                                                                                
9.0 Fume Cupboard (Wet Processing, South Laser Lab)                                                                                                                                
9.1 Pascal LMBE Chamber A                                                                                                                                
9.2 Pascal LMBE Chamber B                                                                                                                                
AlphaPlasma Asher                                                                                                                                
Bruker Dimension Edge AFM                                                                                                                                
DektakXT                                                                                                                                
DMO ML3 Pro direct writer         Venkatesh Chenniappan                                 Venkatesh Chenniappan                                                                        
F and S Bondtech 53XX-BDA wire bonder                                                                                                                                
GP RIE                                                                                                                                
MBE sample preparation                                                                                                                                
OEG MR200 diamond scriber                                                                                                                                
Olympus DSX1000 Digital Microscope                                                                                                                                
Oxford PlasmaPro 100 Cobra ICP RIE                                                                                                                                
Parylene Coater                                                                                                                                
Picosun R-200 ALD system                                                                                                                                
Raith Pioneer TWO                                                                                                                                
Tystar LPCVD Furnace System                                                                                                                                
Tystar LPCVD Furnace Tube 1 (Si3N4)                                                                                                                                
Tystar LPCVD Furnace Tube 2 (p-doped PolySi)                                                                                                                                
Tystar LPCVD Furnace Tube 3 (n-doped PolySi)                                                                                                                                
10.1 Fume Cupboard (Wet Processing, Ion Implanter)                                                                                                                                
10.1 IBS Ion Implanter                                                                                                                                
11 COMSOL Multiphysics                                                                                                                                
11.1 Woollam WVASE32                                                                                                                                
11.2 Raith Software                                                                                                                                
 
 
Today Back 02/04/2025 - 08/04/2025 Forward