Use the standard schedule display Use the tall schedule display
Show/Hide Navigation
Show Specific Dates
Today Back 21/11/2024 - 27/11/2024 Forward
Resource Filter Hide Reservation Filter
Thursday, 21/11/2024 00:00 08:00 09:00 10:00 11:00 12:00 13:00 14:00 15:00 16:00 17:00 18:00 19:00 20:00 21:00 22:00 23:00
1.2 Fume Cupboard (Wet Processing, Lower East)    
1.2.1 Decanted HF process    
1.3 Fume Cupboard (Spinner, Lower East)    
1.6 MJB3 Aligner Krittika Kumar    
1.7 FEI XL30    
1.8 FEI Sirion    
2.1 Olympus Microscope    
2.3 Denton Oxygen Asher (Lower East)    
2.4 Lesker Thermal Evaporator Wenxin Shi    
2.5 P-type Evaporator (Auto 306) Krittika Kumar    
2.6 SET Al Evaporator (Auto 306)    
2.7 Dicing Saw    
2.8 GaAs ULVAC MILA-500 Annealing Furnace    
3.0 Scriber (custom-made)    
3.1 Fume Cupboard (Wet Processing, Upper East White) Josiah Firth (ANFF) Ilgar jafarsadeghipournaki An Truong    
3.1.1 HF constant temperature bath    
3.1.2 TMAH etch    
3.2 Fume Cupboard (Spinner, Upper East) Michael Abraham Listyawan    
3.2.1. NMP Bath (photomask cleaning)    
3.4 Clean Anneal Furnace    
3.5 GP Anneal Furnace    
3.6 Boron Diffusion Furnace    
3.7 Phosphorus Diffusion Furnace    
3.8 UDOX Furnace    
3.9 Clean Si Oxidation Furnace Ilgar jafarsadeghipournaki    
4.4 Dektak 2A    
4.5 Kyowa Microscope    
4.6 Kyowa Zoom Stereo Microscope    
4.7 Nikon Microscope    
4.8 PDMS Station    
4.9 Jipelec RTA    
5.3 4-point Probe    
5.4 Edwards Sputter    
5.6 Edwards Evaporator    
5.7.1 Oxford RIE Jianfu (Jeff) Wang Venkatesh Chenniappan chuka madumelu chuka madumelu    
5.7.2 Oxford PECVD SGS offine    
5.9 Raith 150 TWO Justin Brown Justin Brown Yatin Miglani    
6.0 Fume Cupboard (Resist Spinner, West White) Yatin Miglani    
6.1 Fume Cupboard (Dry Processing, West White)    
6.2 Fume Cupboard (Wet Processing, West White)    
6.3 Fume Cupboard (HF Processing, West White)    
6.4 Olympus Stereo Microscope    
6.5 Olympus Darkfield Microscope    
6.5.1 Dektak 150    
6.5.2 MA6 Aligner No microscope light and UV lamp is due for replacement Hassan Jamal Latief    
6.5.3.1 GP ULVAC MILA-500 Annealing Furnace    
6.5.6 Savannah ALD    
6.5.8 Muffle Furnace    
6.6 Fume Cupboard (Wet Processing, West Grey)    
6.7 STS ICP-DRIE Jayden Moore    
6.8.1 TPT HB10 Thermosonic Au Ball Bonder    
6.9 K and S Al Wedge Bonder Fay Hudson Leon Luo Ismaeel Shah    
7.2 Lesker PVD 75 (GP) Jayden Moore Shaghik Atakaramians Pierrette Michaux Justin Brown    
7.2.1 Lesker PVD 75 (Si)    
7.2.2 HHV Sputterer    
7.3 Woollam M2000 Ellipsometer Zhijing Zhang    
7.5 Cascade Probe Station    
8.1 Fume Cupboard (Wet Processing, South Lab)    
8.2 Veeco Gen930 III-V MBE    
9.0 Fume Cupboard (Wet Processing, South Laser Lab)    
9.1 Pascal LMBE Chamber A Akbar Davoodi jamaloei    
9.2 Pascal LMBE Chamber B    
AlphaPlasma Asher Wenxin Shi    
Bruker Dimension Edge AFM Krittika Kumar    
DektakXT Jayden Moore    
DMO ML3 Pro direct writer Jayden Moore chuka madumelu Venkatesh Chenniappan Venkatesh Chenniappan Michael Abraham Listyawan Tim Botzem Jayden Moore Tim Botzem    
F and S Bondtech 53XX-BDA wire bonder    
GP RIE Siddharth Rawat Benoit Voisin Justin Brown    
MBE sample preparation    
OEG MR200 diamond scriber    
Olympus DSX1000 Digital Microscope Ashu Bhudia    
Oxford PlasmaPro 100 Cobra ICP RIE Alison Lennon    
Parylene Coater    
Picosun R-200 ALD system    
Raith Pioneer TWO Jianfu (Jeff) Wang Jianfu (Jeff) Wang Jianfu (Jeff) Wang Jianfu (Jeff) Wang    
Tystar LPCVD Furnace System    
Tystar LPCVD Furnace Tube 1 (Si3N4)    
Tystar LPCVD Furnace Tube 2 (p-doped PolySi)    
Tystar LPCVD Furnace Tube 3 (n-doped PolySi)    
10.1 Fume Cupboard (Wet Processing, Ion Implanter)    
10.1 IBS Ion Implanter    
11 COMSOL Multiphysics    
11.1 Woollam WVASE32 Zhijing Zhang    
11.2 Raith Software    
Friday, 22/11/2024 00:00 08:00 09:00 10:00 11:00 12:00 13:00 14:00 15:00 16:00 17:00 18:00 19:00 20:00 21:00 22:00 23:00
1.2 Fume Cupboard (Wet Processing, Lower East)                                                                                                                                
1.2.1 Decanted HF process                                                                                                                                
1.3 Fume Cupboard (Spinner, Lower East)                                                                                                                                
1.6 MJB3 Aligner                                                                                                                                
1.7 FEI XL30                                                                                                                                
1.8 FEI Sirion                                                                                                                                
2.1 Olympus Microscope                                                                                                                                
2.3 Denton Oxygen Asher (Lower East)                                                                                                                                
2.4 Lesker Thermal Evaporator                                                                                                                                
2.5 P-type Evaporator (Auto 306)                                                                                                                                
2.6 SET Al Evaporator (Auto 306)                                                                                                                                
2.7 Dicing Saw                                                                                                                                
2.8 GaAs ULVAC MILA-500 Annealing Furnace                                                                                                                                
3.0 Scriber (custom-made)                                                                                                                                
3.1 Fume Cupboard (Wet Processing, Upper East White)             chuka madumelu                                                                
3.1.1 HF constant temperature bath                                                                                                                                
3.1.2 TMAH etch                                                                                                                                
3.2 Fume Cupboard (Spinner, Upper East)                                                                                                                                
3.2.1. NMP Bath (photomask cleaning)                                                                                                                                
3.4 Clean Anneal Furnace                                                                                                                                
3.5 GP Anneal Furnace                                                                                                                                
3.6 Boron Diffusion Furnace                                                                                                                                
3.7 Phosphorus Diffusion Furnace                                                                                                                                
3.8 UDOX Furnace                                                                                                                                
3.9 Clean Si Oxidation Furnace                                                                                                                                
4.4 Dektak 2A                                                                                                                                
4.5 Kyowa Microscope                                                                                                                                
4.6 Kyowa Zoom Stereo Microscope                                                                                                                                
4.7 Nikon Microscope                                                                                                                                
4.8 PDMS Station                                                                                                                                
4.9 Jipelec RTA                                                                                                                                
5.3 4-point Probe                                                                                                                                
5.4 Edwards Sputter                                                                                                                                
5.6 Edwards Evaporator                                                                                                                                
5.7.1 Oxford RIE                                                                                                                                
5.7.2 Oxford PECVD                                                                         SGS offine    
5.9 Raith 150 TWO         Hassan Jamal Latief Anthony El-Helou                                                                
6.0 Fume Cupboard (Resist Spinner, West White)                                                 Zhenyu Sun                                                                        
6.1 Fume Cupboard (Dry Processing, West White)                                                                                                                                
6.2 Fume Cupboard (Wet Processing, West White)                                                               Zhenyu Sun                                                                
6.3 Fume Cupboard (HF Processing, West White)                                                                                                                                
6.4 Olympus Stereo Microscope                                                                                                                                
6.5 Olympus Darkfield Microscope                                                                                                                                
6.5.1 Dektak 150                                                                                                                                
6.5.2 MA6 Aligner                 Mohamed Kilani                             Zhenyu Sun                                                                
6.5.3.1 GP ULVAC MILA-500 Annealing Furnace                                                                                                                                
6.5.6 Savannah ALD                                                                                                                                
6.5.8 Muffle Furnace                                                                                                                                
6.6 Fume Cupboard (Wet Processing, West Grey)                                                                                                                                
6.7 STS ICP-DRIE                                                                                                                                
6.8.1 TPT HB10 Thermosonic Au Ball Bonder                                                                                                                                
6.9 K and S Al Wedge Bonder                                                                                                                                
7.2 Lesker PVD 75 (GP)                                     KAIWEN SUN Eui Ho (Sam) Kim                                                        
7.2.1 Lesker PVD 75 (Si)                                                                                                                                
7.2.2 HHV Sputterer                                                                                                                                
7.3 Woollam M2000 Ellipsometer                                                                                                                                
7.5 Cascade Probe Station                     Vo Kim Hieu Van Vo Kim Hieu Van                                                                                                
8.1 Fume Cupboard (Wet Processing, South Lab)                                                                                                                                
8.2 Veeco Gen930 III-V MBE                                                                                                                                
9.0 Fume Cupboard (Wet Processing, South Laser Lab)                                                                                                                                
9.1 Pascal LMBE Chamber A                         Qingxiao Meng         Qingxiao Meng                                                                
9.2 Pascal LMBE Chamber B                                                                 Andrews Nsiah Ashong                                                
AlphaPlasma Asher                                                                                                                                
Bruker Dimension Edge AFM                                                                                                                                
DektakXT                                                                                                                                
DMO ML3 Pro direct writer     Venkatesh Chenniappan Benoit Voisin     Alison Lennon An Truong                                                
F and S Bondtech 53XX-BDA wire bonder                                                                                                                                
GP RIE                                                                 Zhenyu Sun                                                
MBE sample preparation                                                                                                                                
OEG MR200 diamond scriber                                                                                                                                
Olympus DSX1000 Digital Microscope                                                                                                                                
Oxford PlasmaPro 100 Cobra ICP RIE                                                                                                                                
Parylene Coater                                                                                                                                
Picosun R-200 ALD system                                                                                                                                
Raith Pioneer TWO                                                                                                                                
Tystar LPCVD Furnace System                                                                                                                                
Tystar LPCVD Furnace Tube 1 (Si3N4)                                                                                                                                
Tystar LPCVD Furnace Tube 2 (p-doped PolySi)                                                                                                                                
Tystar LPCVD Furnace Tube 3 (n-doped PolySi)                                                                                                                                
10.1 Fume Cupboard (Wet Processing, Ion Implanter)                                                                                                                                
10.1 IBS Ion Implanter                                                                                                                                
11 COMSOL Multiphysics                                                                                                                                
11.1 Woollam WVASE32                                                                                                                                
11.2 Raith Software                                                                                                                                
Saturday, 23/11/2024 00:00 08:00 09:00 10:00 11:00 12:00 13:00 14:00 15:00 16:00 17:00 18:00 19:00 20:00 21:00 22:00 23:00
1.2 Fume Cupboard (Wet Processing, Lower East)                                                                                                                                
1.2.1 Decanted HF process                                                                                                                                
1.3 Fume Cupboard (Spinner, Lower East)                                                                                                                                
1.6 MJB3 Aligner                                                                                                                                
1.7 FEI XL30                                                                                                                                
1.8 FEI Sirion                                                                                                                                
2.1 Olympus Microscope                                                                                                                                
2.3 Denton Oxygen Asher (Lower East)                                                                                                                                
2.4 Lesker Thermal Evaporator                                                                                                                                
2.5 P-type Evaporator (Auto 306)                                                                                                                                
2.6 SET Al Evaporator (Auto 306)                                                                                                                                
2.7 Dicing Saw                                                                                                                                
2.8 GaAs ULVAC MILA-500 Annealing Furnace                                                                                                                                
3.0 Scriber (custom-made)                                                                                                                                
3.1 Fume Cupboard (Wet Processing, Upper East White)                                                                                                                                
3.1.1 HF constant temperature bath                                                                                                                                
3.1.2 TMAH etch                                                                                                                                
3.2 Fume Cupboard (Spinner, Upper East)                                                                                                                                
3.2.1. NMP Bath (photomask cleaning)                                                                                                                                
3.4 Clean Anneal Furnace                                                                                                                                
3.5 GP Anneal Furnace                                                                                                                                
3.6 Boron Diffusion Furnace                                                                                                                                
3.7 Phosphorus Diffusion Furnace                                                                                                                                
3.8 UDOX Furnace                                                                                                                                
3.9 Clean Si Oxidation Furnace                                                                                                                                
4.4 Dektak 2A                                                                                                                                
4.5 Kyowa Microscope                                                                                                                                
4.6 Kyowa Zoom Stereo Microscope                                                                                                                                
4.7 Nikon Microscope                                                                                                                                
4.8 PDMS Station                                                                                                                                
4.9 Jipelec RTA                                                                                                                                
5.3 4-point Probe                                                                                                                                
5.4 Edwards Sputter                                                                                                                                
5.6 Edwards Evaporator                                                                                                                                
5.7.1 Oxford RIE                                                                                                                                
5.7.2 Oxford PECVD                                                                         SGS offine    
5.9 Raith 150 TWO                                                                                                                                
6.0 Fume Cupboard (Resist Spinner, West White)                                                                                                                                
6.1 Fume Cupboard (Dry Processing, West White)                                                                                                                                
6.2 Fume Cupboard (Wet Processing, West White)                                                                                                                                
6.3 Fume Cupboard (HF Processing, West White)                                                                                                                                
6.4 Olympus Stereo Microscope                                                                                                                                
6.5 Olympus Darkfield Microscope                                                                                                                                
6.5.1 Dektak 150                                                                                                                                
6.5.2 MA6 Aligner                                                                                                                                
6.5.3.1 GP ULVAC MILA-500 Annealing Furnace                                                                                                                                
6.5.6 Savannah ALD                                                                                                                                
6.5.8 Muffle Furnace                                                                                                                                
6.6 Fume Cupboard (Wet Processing, West Grey)                                                                                                                                
6.7 STS ICP-DRIE                                                                                                                                
6.8.1 TPT HB10 Thermosonic Au Ball Bonder                                                                                                                                
6.9 K and S Al Wedge Bonder                                                                                                                                
7.2 Lesker PVD 75 (GP)                                                                                                                                
7.2.1 Lesker PVD 75 (Si)                                                                                                                                
7.2.2 HHV Sputterer                                                                                                                                
7.3 Woollam M2000 Ellipsometer                                                                                                                                
7.5 Cascade Probe Station                                                                                                                                
8.1 Fume Cupboard (Wet Processing, South Lab)                                                                                                                                
8.2 Veeco Gen930 III-V MBE                                                                                                                                
9.0 Fume Cupboard (Wet Processing, South Laser Lab)                                                                                                                                
9.1 Pascal LMBE Chamber A                                                                                                                                
9.2 Pascal LMBE Chamber B                                                                                                                                
AlphaPlasma Asher                                                                                                                                
Bruker Dimension Edge AFM                                                                                                                                
DektakXT                                                                                                                                
DMO ML3 Pro direct writer                                                                                                                                
F and S Bondtech 53XX-BDA wire bonder                                                                                                                                
GP RIE                                                                                                                                
MBE sample preparation                                                                                                                                
OEG MR200 diamond scriber                                                                                                                                
Olympus DSX1000 Digital Microscope                                                                                                                                
Oxford PlasmaPro 100 Cobra ICP RIE                                                                                                                                
Parylene Coater                                                                                                                                
Picosun R-200 ALD system                                                                                                                                
Raith Pioneer TWO                                                                                                                                
Tystar LPCVD Furnace System                                                                                                                                
Tystar LPCVD Furnace Tube 1 (Si3N4)                                                                                                                                
Tystar LPCVD Furnace Tube 2 (p-doped PolySi)                                                                                                                                
Tystar LPCVD Furnace Tube 3 (n-doped PolySi)                                                                                                                                
10.1 Fume Cupboard (Wet Processing, Ion Implanter)                                                                                                                                
10.1 IBS Ion Implanter                                                                                                                                
11 COMSOL Multiphysics                                                                                                                                
11.1 Woollam WVASE32                                                                                                                                
11.2 Raith Software                                                                                                                                
Sunday, 24/11/2024 00:00 08:00 09:00 10:00 11:00 12:00 13:00 14:00 15:00 16:00 17:00 18:00 19:00 20:00 21:00 22:00 23:00
1.2 Fume Cupboard (Wet Processing, Lower East)                                                                                                                                
1.2.1 Decanted HF process                                                                                                                                
1.3 Fume Cupboard (Spinner, Lower East)                                                                                                                                
1.6 MJB3 Aligner                                                                                                                                
1.7 FEI XL30                                                                                                                                
1.8 FEI Sirion                                                                                                                                
2.1 Olympus Microscope                                                                                                                                
2.3 Denton Oxygen Asher (Lower East)                                                                                                                                
2.4 Lesker Thermal Evaporator                                                                                                                                
2.5 P-type Evaporator (Auto 306)                                                                                                                                
2.6 SET Al Evaporator (Auto 306)                                                                                                                                
2.7 Dicing Saw                                                                                                                                
2.8 GaAs ULVAC MILA-500 Annealing Furnace                                                                                                                                
3.0 Scriber (custom-made)                                                                                                                                
3.1 Fume Cupboard (Wet Processing, Upper East White)                                                                                                                                
3.1.1 HF constant temperature bath                                                                                                                                
3.1.2 TMAH etch                                                                                                                                
3.2 Fume Cupboard (Spinner, Upper East)                                                                                                                                
3.2.1. NMP Bath (photomask cleaning)                                                                                                                                
3.4 Clean Anneal Furnace                                                                                                                                
3.5 GP Anneal Furnace                                                                                                                                
3.6 Boron Diffusion Furnace                                                                                                                                
3.7 Phosphorus Diffusion Furnace                                                                                                                                
3.8 UDOX Furnace                                                                                                                                
3.9 Clean Si Oxidation Furnace                                                                                                                                
4.4 Dektak 2A                                                                                                                                
4.5 Kyowa Microscope                                                                                                                                
4.6 Kyowa Zoom Stereo Microscope                                                                                                                                
4.7 Nikon Microscope                                                                                                                                
4.8 PDMS Station                                                                                                                                
4.9 Jipelec RTA                                                                                                                                
5.3 4-point Probe                                                                                                                                
5.4 Edwards Sputter                                                                                                                                
5.6 Edwards Evaporator                                                                                                                                
5.7.1 Oxford RIE                                                                                                                                
5.7.2 Oxford PECVD                                                                         SGS offine    
5.9 Raith 150 TWO                                                                                                                                
6.0 Fume Cupboard (Resist Spinner, West White)                                                                                                                                
6.1 Fume Cupboard (Dry Processing, West White)                                                                                                                                
6.2 Fume Cupboard (Wet Processing, West White)                                                                                                                                
6.3 Fume Cupboard (HF Processing, West White)                                                                                                                                
6.4 Olympus Stereo Microscope                                                                                                                                
6.5 Olympus Darkfield Microscope                                                                                                                                
6.5.1 Dektak 150                                                                                                                                
6.5.2 MA6 Aligner                                                                                                                                
6.5.3.1 GP ULVAC MILA-500 Annealing Furnace                                                                                                                                
6.5.6 Savannah ALD                                                                                                                                
6.5.8 Muffle Furnace                                                                                                                                
6.6 Fume Cupboard (Wet Processing, West Grey)                                                                                                                                
6.7 STS ICP-DRIE                                                                                                                                
6.8.1 TPT HB10 Thermosonic Au Ball Bonder                                                                                                                                
6.9 K and S Al Wedge Bonder                                                                                                                                
7.2 Lesker PVD 75 (GP)                                                                                                                                
7.2.1 Lesker PVD 75 (Si)                                                                                                                                
7.2.2 HHV Sputterer                                                                                                                                
7.3 Woollam M2000 Ellipsometer                                                                                                                                
7.5 Cascade Probe Station                                                                                                                                
8.1 Fume Cupboard (Wet Processing, South Lab)                                                                                                                                
8.2 Veeco Gen930 III-V MBE                                                                                                                                
9.0 Fume Cupboard (Wet Processing, South Laser Lab)                                                                                                                                
9.1 Pascal LMBE Chamber A                                                                                                                                
9.2 Pascal LMBE Chamber B                                                                                                                                
AlphaPlasma Asher                                                                                                                                
Bruker Dimension Edge AFM                                                                                                                                
DektakXT                                                                                                                                
DMO ML3 Pro direct writer                                                                                                                                
F and S Bondtech 53XX-BDA wire bonder                                                                                                                                
GP RIE                                                                                                                                
MBE sample preparation                                                                                                                                
OEG MR200 diamond scriber                                                                                                                                
Olympus DSX1000 Digital Microscope                                                                                                                                
Oxford PlasmaPro 100 Cobra ICP RIE                                                                                                                                
Parylene Coater                                                                                                                                
Picosun R-200 ALD system                                                                                                                                
Raith Pioneer TWO                                                                                                                                
Tystar LPCVD Furnace System                                                                                                                                
Tystar LPCVD Furnace Tube 1 (Si3N4)                                                                                                                                
Tystar LPCVD Furnace Tube 2 (p-doped PolySi)                                                                                                                                
Tystar LPCVD Furnace Tube 3 (n-doped PolySi)                                                                                                                                
10.1 Fume Cupboard (Wet Processing, Ion Implanter)                                                                                                                                
10.1 IBS Ion Implanter                                                                                                                                
11 COMSOL Multiphysics                                                                                                                                
11.1 Woollam WVASE32                                                                                                                                
11.2 Raith Software                                                                                                                                
Monday, 25/11/2024 00:00 08:00 09:00 10:00 11:00 12:00 13:00 14:00 15:00 16:00 17:00 18:00 19:00 20:00 21:00 22:00 23:00
1.2 Fume Cupboard (Wet Processing, Lower East)                                                                                                                                
1.2.1 Decanted HF process                                                                                                                                
1.3 Fume Cupboard (Spinner, Lower East)                                                                                                                                
1.6 MJB3 Aligner                                                                                                                                
1.7 FEI XL30                                                                                                                                
1.8 FEI Sirion                                                                                                                                
2.1 Olympus Microscope                                                                                                                                
2.3 Denton Oxygen Asher (Lower East)                                                                                                                                
2.4 Lesker Thermal Evaporator                                                                                                                                
2.5 P-type Evaporator (Auto 306)                                                                                                                                
2.6 SET Al Evaporator (Auto 306)                                                                                                                                
2.7 Dicing Saw                                                                                                                                
2.8 GaAs ULVAC MILA-500 Annealing Furnace                                                                                                                                
3.0 Scriber (custom-made)                                                                                                                                
3.1 Fume Cupboard (Wet Processing, Upper East White)                 Sinuo Zhao                                                                                                            
3.1.1 HF constant temperature bath                                                                                                                                
3.1.2 TMAH etch                                                                                                                                
3.2 Fume Cupboard (Spinner, Upper East)                                                                                                                                
3.2.1. NMP Bath (photomask cleaning)                                                                                                                                
3.4 Clean Anneal Furnace                                                                                                                                
3.5 GP Anneal Furnace                                                                                                                                
3.6 Boron Diffusion Furnace                                                                                                                                
3.7 Phosphorus Diffusion Furnace                                                                                                                                
3.8 UDOX Furnace                                                                                                                                
3.9 Clean Si Oxidation Furnace                                                                                                                                
4.4 Dektak 2A                                                                                                                                
4.5 Kyowa Microscope                                                                                                                                
4.6 Kyowa Zoom Stereo Microscope                                                                                                                                
4.7 Nikon Microscope                                                                                                                                
4.8 PDMS Station                                                                                                                                
4.9 Jipelec RTA                                                                                                                                
5.3 4-point Probe                                                                                                                                
5.4 Edwards Sputter                                                                                                                                
5.6 Edwards Evaporator                                                                                                                                
5.7.1 Oxford RIE                                                                                                                                
5.7.2 Oxford PECVD                                                                         SGS offine    
5.9 Raith 150 TWO         Anthony El-Helou         Hassan Jamal Latief                                                        
6.0 Fume Cupboard (Resist Spinner, West White)                                             Charles Unsworth                                                                            
6.1 Fume Cupboard (Dry Processing, West White)                                                                                                                                
6.2 Fume Cupboard (Wet Processing, West White)                                                                                                                                
6.3 Fume Cupboard (HF Processing, West White)                                                                                                                                
6.4 Olympus Stereo Microscope                                                                                                                                
6.5 Olympus Darkfield Microscope                                                                                                                                
6.5.1 Dektak 150                                                                                                                                
6.5.2 MA6 Aligner                                             Charles Unsworth                                                                            
6.5.3.1 GP ULVAC MILA-500 Annealing Furnace                                                                                                                                
6.5.6 Savannah ALD                                 Zhewei Liu                                                                            
6.5.8 Muffle Furnace                                                                                                                                
6.6 Fume Cupboard (Wet Processing, West Grey)                                                                                                                                
6.7 STS ICP-DRIE                                                                                                                                
6.8.1 TPT HB10 Thermosonic Au Ball Bonder                                                                                                                                
6.9 K and S Al Wedge Bonder                                                                                                                                
7.2 Lesker PVD 75 (GP)                     Sinuo Zhao Fati Khosravi                     joanna szymanska                                                
7.2.1 Lesker PVD 75 (Si)                                                                                                                                
7.2.2 HHV Sputterer                                                                                                                                
7.3 Woollam M2000 Ellipsometer                                             Fati Khosravi                                                                            
7.5 Cascade Probe Station                                                                                                                                
8.1 Fume Cupboard (Wet Processing, South Lab)                                                                                                                                
8.2 Veeco Gen930 III-V MBE                                                                                                                                
9.0 Fume Cupboard (Wet Processing, South Laser Lab)                                                                                                                                
9.1 Pascal LMBE Chamber A                                                                                                                                
9.2 Pascal LMBE Chamber B                                                                                                                                
AlphaPlasma Asher                                                                                                                                
Bruker Dimension Edge AFM                                                                                                                                
DektakXT                                                                                                                                
DMO ML3 Pro direct writer         An Truong Tim Botzem Photonics Crystal                                                        
F and S Bondtech 53XX-BDA wire bonder                                                                                                                                
GP RIE                         Jay Wei                     Yatin Miglani Charles Unsworth                                                        
MBE sample preparation                                                                                                                                
OEG MR200 diamond scriber                                                                                                                                
Olympus DSX1000 Digital Microscope                                                                                                                                
Oxford PlasmaPro 100 Cobra ICP RIE                                                                                                                                
Parylene Coater                                                                                                                                
Picosun R-200 ALD system                                                                                                                                
Raith Pioneer TWO                                                                                                                                
Tystar LPCVD Furnace System                                                                                                                                
Tystar LPCVD Furnace Tube 1 (Si3N4)                                                                                                                                
Tystar LPCVD Furnace Tube 2 (p-doped PolySi)                                                                                                                                
Tystar LPCVD Furnace Tube 3 (n-doped PolySi)                                                                                                                                
10.1 Fume Cupboard (Wet Processing, Ion Implanter)                                                                                                                                
10.1 IBS Ion Implanter                                                                                                                                
11 COMSOL Multiphysics                                                                                                                                
11.1 Woollam WVASE32                                                                                                                                
11.2 Raith Software                                                                                                                                
Tuesday, 26/11/2024 00:00 08:00 09:00 10:00 11:00 12:00 13:00 14:00 15:00 16:00 17:00 18:00 19:00 20:00 21:00 22:00 23:00
1.2 Fume Cupboard (Wet Processing, Lower East)                                                                                                                                
1.2.1 Decanted HF process                                                                                                                                
1.3 Fume Cupboard (Spinner, Lower East)                                                                                                                                
1.6 MJB3 Aligner                                                                                                                                
1.7 FEI XL30                                                                                                                                
1.8 FEI Sirion                                                                                                                                
2.1 Olympus Microscope                                                                                                                                
2.3 Denton Oxygen Asher (Lower East)                                                                                                                                
2.4 Lesker Thermal Evaporator                                                                                                                                
2.5 P-type Evaporator (Auto 306)                                                                                                                                
2.6 SET Al Evaporator (Auto 306)                                                                                                                                
2.7 Dicing Saw                                                                                                                                
2.8 GaAs ULVAC MILA-500 Annealing Furnace                                                                                                                                
3.0 Scriber (custom-made)                                                                                                                                
3.1 Fume Cupboard (Wet Processing, Upper East White)                                                                                                                                
3.1.1 HF constant temperature bath                                                                                                                                
3.1.2 TMAH etch                                                                                                                                
3.2 Fume Cupboard (Spinner, Upper East)                                                                                                                                
3.2.1. NMP Bath (photomask cleaning)                                                                                                                                
3.4 Clean Anneal Furnace                                                                                                                                
3.5 GP Anneal Furnace                                                                                                                                
3.6 Boron Diffusion Furnace                                                                                                                                
3.7 Phosphorus Diffusion Furnace                                                                                                                                
3.8 UDOX Furnace                                                                                                                                
3.9 Clean Si Oxidation Furnace                                                                                                                                
4.4 Dektak 2A                                                                                                                                
4.5 Kyowa Microscope                                                                                                                                
4.6 Kyowa Zoom Stereo Microscope                                                                                                                                
4.7 Nikon Microscope                                                                                                                                
4.8 PDMS Station                                                                                                                                
4.9 Jipelec RTA                                                                                                                                
5.3 4-point Probe                                                                                                                                
5.4 Edwards Sputter                                                                                                                                
5.6 Edwards Evaporator                                                                                                                                
5.7.1 Oxford RIE                                                                                                                                
5.7.2 Oxford PECVD                                                                         SGS offine    
5.9 Raith 150 TWO Anthony El-Helou Pierrette Michaux Eying Sim Wong                                                
6.0 Fume Cupboard (Resist Spinner, West White)             Lamees Al Kiyumi                           Eying Sim Wong                                                                                    
6.1 Fume Cupboard (Dry Processing, West White)                                                                                                                                
6.2 Fume Cupboard (Wet Processing, West White)                                                                                                                                
6.3 Fume Cupboard (HF Processing, West White)                                                                                                                                
6.4 Olympus Stereo Microscope                                                                                                                                
6.5 Olympus Darkfield Microscope                                                                                                                                
6.5.1 Dektak 150                                                                                                                                
6.5.2 MA6 Aligner             Lamees Al Kiyumi                                                                                                    
6.5.3.1 GP ULVAC MILA-500 Annealing Furnace                                                                                                                                
6.5.6 Savannah ALD                                                                                                                                
6.5.8 Muffle Furnace                                                                                                                                
6.6 Fume Cupboard (Wet Processing, West Grey)                                                                                                                                
6.7 STS ICP-DRIE                                                                                                                                
6.8.1 TPT HB10 Thermosonic Au Ball Bonder                                                                                                                                
6.9 K and S Al Wedge Bonder                                                                                                                                
7.2 Lesker PVD 75 (GP)                         joanna szymanska                                                                                        
7.2.1 Lesker PVD 75 (Si)                                                                                                                                
7.2.2 HHV Sputterer                                                                                                                                
7.3 Woollam M2000 Ellipsometer                                                                                                                                
7.5 Cascade Probe Station                                                                                                                                
8.1 Fume Cupboard (Wet Processing, South Lab)                                                                                                                                
8.2 Veeco Gen930 III-V MBE                                                                                                                                
9.0 Fume Cupboard (Wet Processing, South Laser Lab)                                                                                                                                
9.1 Pascal LMBE Chamber A                                                                                                                                
9.2 Pascal LMBE Chamber B                                                                                                                                
AlphaPlasma Asher                                                                                                                                
Bruker Dimension Edge AFM                                         Yatin Miglani Justin Brown                                                                        
DektakXT                                                                                                                                
DMO ML3 Pro direct writer         An Truong Justin Brown                                                                                
F and S Bondtech 53XX-BDA wire bonder                                                                                                                                
GP RIE                                                 Charles Unsworth                                                                
MBE sample preparation                                                                                                                                
OEG MR200 diamond scriber                                                                                                                                
Olympus DSX1000 Digital Microscope                                                                                                                                
Oxford PlasmaPro 100 Cobra ICP RIE                                                                                                                                
Parylene Coater                                                                                                                                
Picosun R-200 ALD system                                                                                                                                
Raith Pioneer TWO                                                     Fati Khosravi                                                    
Tystar LPCVD Furnace System                                                                                                                                
Tystar LPCVD Furnace Tube 1 (Si3N4)                                                                                                                                
Tystar LPCVD Furnace Tube 2 (p-doped PolySi)                                                                                                                                
Tystar LPCVD Furnace Tube 3 (n-doped PolySi)                                                                                                                                
10.1 Fume Cupboard (Wet Processing, Ion Implanter)                                                                                                                                
10.1 IBS Ion Implanter                                                                                                                                
11 COMSOL Multiphysics                                                                                                                                
11.1 Woollam WVASE32                                                                                                                                
11.2 Raith Software                                                                                                                                
Wednesday, 27/11/2024 00:00 08:00 09:00 10:00 11:00 12:00 13:00 14:00 15:00 16:00 17:00 18:00 19:00 20:00 21:00 22:00 23:00
1.2 Fume Cupboard (Wet Processing, Lower East)                                                                                                                                
1.2.1 Decanted HF process                                                                                                                                
1.3 Fume Cupboard (Spinner, Lower East)                                                                                                                                
1.6 MJB3 Aligner                                                                                                                                
1.7 FEI XL30                                                                                                                                
1.8 FEI Sirion                                                                                                                                
2.1 Olympus Microscope                                                                                                                                
2.3 Denton Oxygen Asher (Lower East)                                                                                                                                
2.4 Lesker Thermal Evaporator                                                                                                                                
2.5 P-type Evaporator (Auto 306)                                                                                                                                
2.6 SET Al Evaporator (Auto 306)                                                                                                                                
2.7 Dicing Saw                                                                                                                                
2.8 GaAs ULVAC MILA-500 Annealing Furnace                                                                                                                                
3.0 Scriber (custom-made)                                                                                                                                
3.1 Fume Cupboard (Wet Processing, Upper East White)                                                                                                                                
3.1.1 HF constant temperature bath                                                                                                                                
3.1.2 TMAH etch                                                                                                                                
3.2 Fume Cupboard (Spinner, Upper East)                                                                                                                                
3.2.1. NMP Bath (photomask cleaning)                                                                                                                                
3.4 Clean Anneal Furnace                                                                                                                                
3.5 GP Anneal Furnace                                                                                                                                
3.6 Boron Diffusion Furnace                                                                                                                                
3.7 Phosphorus Diffusion Furnace                                                                                                                                
3.8 UDOX Furnace                                                                                                                                
3.9 Clean Si Oxidation Furnace                                                                                                                                
4.4 Dektak 2A                                                                                                                                
4.5 Kyowa Microscope                                                                                                                                
4.6 Kyowa Zoom Stereo Microscope                                                                                                                                
4.7 Nikon Microscope                                                                                                                                
4.8 PDMS Station                                                                                                                                
4.9 Jipelec RTA                                                                                                                                
5.3 4-point Probe                                                                                                                                
5.4 Edwards Sputter                                                                                                                                
5.6 Edwards Evaporator                                                                                                                                
5.7.1 Oxford RIE                                                                                                                                
5.7.2 Oxford PECVD                                                                         SGS offine    
5.9 Raith 150 TWO         Anthony El-Helou                 Thanh Doan Ashu Bhudia                                                
6.0 Fume Cupboard (Resist Spinner, West White)                                                                                                                                
6.1 Fume Cupboard (Dry Processing, West White)                                                                                                                                
6.2 Fume Cupboard (Wet Processing, West White)                                                                                                                                
6.3 Fume Cupboard (HF Processing, West White)                                                                                                                                
6.4 Olympus Stereo Microscope                                                                                                                                
6.5 Olympus Darkfield Microscope                                                                                                                                
6.5.1 Dektak 150                                                                                                                                
6.5.2 MA6 Aligner                                                                                                                                
6.5.3.1 GP ULVAC MILA-500 Annealing Furnace                                                                                                                                
6.5.6 Savannah ALD                                                                                                                                
6.5.8 Muffle Furnace                                                                                                                                
6.6 Fume Cupboard (Wet Processing, West Grey)                                                                                                                                
6.7 STS ICP-DRIE                                                                                                                                
6.8.1 TPT HB10 Thermosonic Au Ball Bonder                                                                                                                                
6.9 K and S Al Wedge Bonder                                                                                                                                
7.2 Lesker PVD 75 (GP)                                                                 Thanh Doan                                                    
7.2.1 Lesker PVD 75 (Si)                                                                                                                                
7.2.2 HHV Sputterer                                                                                                                                
7.3 Woollam M2000 Ellipsometer                                                                                                                                
7.5 Cascade Probe Station                                                                                                                                
8.1 Fume Cupboard (Wet Processing, South Lab)                                                                                                                                
8.2 Veeco Gen930 III-V MBE                                                                                                                                
9.0 Fume Cupboard (Wet Processing, South Laser Lab)                                                                                                                                
9.1 Pascal LMBE Chamber A                     Meysam Amini                 Meysam Amini                                                        
9.2 Pascal LMBE Chamber B                                                                                                                                
AlphaPlasma Asher                                                                                                                                
Bruker Dimension Edge AFM                                                                                                                                
DektakXT                                                                                                                                
DMO ML3 Pro direct writer                                                                                                                                
F and S Bondtech 53XX-BDA wire bonder                                                                                                                                
GP RIE                                                                                                                                
MBE sample preparation                                                                                                                                
OEG MR200 diamond scriber                                                                                                                                
Olympus DSX1000 Digital Microscope                                                                                                                                
Oxford PlasmaPro 100 Cobra ICP RIE                                                                                                                                
Parylene Coater                                                                                                                                
Picosun R-200 ALD system                                                                                                                                
Raith Pioneer TWO                                                                                                                                
Tystar LPCVD Furnace System                                                                                                                                
Tystar LPCVD Furnace Tube 1 (Si3N4)                                                                                                                                
Tystar LPCVD Furnace Tube 2 (p-doped PolySi)                                                                                                                                
Tystar LPCVD Furnace Tube 3 (n-doped PolySi)                                                                                                                                
10.1 Fume Cupboard (Wet Processing, Ion Implanter)                                                                                                                                
10.1 IBS Ion Implanter                                                                                                                                
11 COMSOL Multiphysics                                                                                                                                
11.1 Woollam WVASE32                                                                                                                                
11.2 Raith Software                                                                                                                                
 
 
Today Back 21/11/2024 - 27/11/2024 Forward