Use the standard schedule display Use the tall schedule display
Show/Hide Navigation
Show Specific Dates
Today Back 23/02/2025 - 01/03/2025 Forward
Resource Filter Hide Reservation Filter
Sunday, 23/02/2025 00:00 08:00 09:00 10:00 11:00 12:00 13:00 14:00 15:00 16:00 17:00 18:00 19:00 20:00 21:00 22:00 23:00
1.2 Fume Cupboard (Wet Processing, Lower East)                                                                                                                  
1.2.1 Decanted HF process                                                                                                                  
1.3 Fume Cupboard (Spinner, Lower East)                                                                                                                  
1.6 MJB3 Aligner                                                                                                                  
1.7 FEI XL30                                                                                                                  
1.8 FEI Sirion                                                                                                                  
2.1 Olympus Microscope                                                                                                                  
2.3 Denton Oxygen Asher (Lower East)                                                                                                                  
2.4 Lesker Thermal Evaporator                                                                                                                  
2.5 P-type Evaporator (Auto 306)                                                                                                                  
2.6 SET Al Evaporator (Auto 306)                                                                                                                  
2.7 Dicing Saw                                                                                                                  
2.8 GaAs ULVAC MILA-500 Annealing Furnace                                                                                                                  
3.0 Scriber (custom-made)                                                                                                                  
3.1 Fume Cupboard (Wet Processing, Upper East White)                                                                                                                  
3.1.1 HF constant temperature bath                                                                                                                  
3.1.2 TMAH etch                                                                                                                  
3.2 Fume Cupboard (Spinner, Upper East)                                                                                                                  
3.2.1. NMP Bath (photomask cleaning)                                                                                                                  
3.4 Clean Anneal Furnace                                                                                                                  
3.5 GP Anneal Furnace                                                                                                                  
3.6 Boron Diffusion Furnace                                                                                                                  
3.7 Phosphorus Diffusion Furnace                                                                                                                  
3.8 UDOX Furnace                                                                                                                  
3.9 Clean Si Oxidation Furnace                                                                                                                  
4.4 Dektak 2A                                                                                                                  
4.5 Kyowa Microscope                                                                                                                  
4.6 Kyowa Zoom Stereo Microscope                                                                                                                  
4.7 Nikon Microscope                                                                                                                  
4.8 PDMS Station                                                                                                                  
4.9 Jipelec RTA                                                                                                                  
5.3 4-point Probe                                                                                                                  
5.4 Edwards Sputter                                                                                                                  
5.6 Edwards Evaporator                                                                                                                  
5.7.1 Oxford RIE                                                                                                                  
5.7.2 Oxford PECVD Gas supply issues SGS offine    
5.9 Raith 150 TWO                                                                                                                  
6.0 Fume Cupboard (Resist Spinner, West White)                                                                                                                  
6.1 Fume Cupboard (Dry Processing, West White)                                                                                                                  
6.2 Fume Cupboard (Wet Processing, West White)                                                                                                                  
6.3 Fume Cupboard (HF Processing, West White)                                                                                                                  
6.4 Olympus Stereo Microscope                                                                                                                  
6.5 Olympus Darkfield Microscope                                                                                                                  
6.5.1 Dektak 150                                                                                                                  
6.5.2 MA6 Aligner                                                                                                                  
6.5.3.1 GP ULVAC MILA-500 Annealing Furnace                                                                                                                  
6.5.6 Savannah ALD Chmber cleaning required after incident
6.5.8 Muffle Furnace                                                                                                                  
6.6 Fume Cupboard (Wet Processing, West Grey)                                                                                                                  
6.7 STS ICP-DRIE Turbo pump refurbishment
6.8.1 TPT HB10 Thermosonic Au Ball Bonder                                                                                                                  
6.9 K and S Al Wedge Bonder                                                                                                                  
7.2 Lesker PVD 75 (GP)                                                                                                                  
7.2.1 Lesker PVD 75 (Si)                                                                                                                  
7.2.2 HHV Sputterer                                                                                                                  
7.3 Woollam M2000 Ellipsometer                                                                                                                  
7.5 Cascade Probe Station                                                                                                                  
8.1 Fume Cupboard (Wet Processing, South Lab)                                                                                                                  
8.2 Veeco Gen930 III-V MBE                                                                                                                  
9.0 Fume Cupboard (Wet Processing, South Laser Lab)                                                                                                                  
9.1 Pascal LMBE Chamber A       Meysam Amini                           Meysam Amini                                                                
9.2 Pascal LMBE Chamber B                                                                                                                  
AlphaPlasma Asher                                                                                                                  
Bruker Dimension Edge AFM                                                                                                                  
DektakXT                                                                                                                  
DMO ML3 Pro direct writer                                                                                                                  
F and S Bondtech 53XX-BDA wire bonder                                                                                                                  
GP RIE                                                                                                                  
MBE sample preparation                                                                                                                  
OEG MR200 diamond scriber                                                                                                                  
Olympus DSX1000 Digital Microscope                                                                                                                  
Oxford PlasmaPro 100 Cobra ICP RIE                                                                                                                  
Parylene Coater                                                                                                                  
Picosun R-200 ALD system                                                                                                                  
Raith Pioneer TWO                                                                                                                  
Tystar LPCVD Furnace System                                                                                                                  
Tystar LPCVD Furnace Tube 1 (Si3N4)                                                                                                                  
Tystar LPCVD Furnace Tube 2 (p-doped PolySi)                                                                                                                  
Tystar LPCVD Furnace Tube 3 (n-doped PolySi)                                                                                                                  
10.1 Fume Cupboard (Wet Processing, Ion Implanter)                                                                                                                  
10.1 IBS Ion Implanter                                                                                                                  
11 COMSOL Multiphysics                                                                                                                  
11.1 Woollam WVASE32                                                                                                                  
11.2 Raith Software                                                                                                                  
Monday, 24/02/2025 00:00 08:00 09:00 10:00 11:00 12:00 13:00 14:00 15:00 16:00 17:00 18:00 19:00 20:00 21:00 22:00 23:00
1.2 Fume Cupboard (Wet Processing, Lower East)                                                                                                                                
1.2.1 Decanted HF process                                                                                                                                
1.3 Fume Cupboard (Spinner, Lower East)                                                                                                                                
1.6 MJB3 Aligner                                                                                                                                
1.7 FEI XL30                                                                                                                                
1.8 FEI Sirion                                                                                                                                
2.1 Olympus Microscope                                                                                                                                
2.3 Denton Oxygen Asher (Lower East)                                                                                                                                
2.4 Lesker Thermal Evaporator                                                     Jay Wei                                                            
2.5 P-type Evaporator (Auto 306)                                                                                                                                
2.6 SET Al Evaporator (Auto 306)                                                                                                                                
2.7 Dicing Saw                                                                                                                                
2.8 GaAs ULVAC MILA-500 Annealing Furnace                                                                                                                                
3.0 Scriber (custom-made)                                                                                                                                
3.1 Fume Cupboard (Wet Processing, Upper East White)             Josiah Firth (ANFF)             Ji Zhang Bohan Hao                                                                    
3.1.1 HF constant temperature bath                                                                                                                                
3.1.2 TMAH etch                                                                                                                                
3.2 Fume Cupboard (Spinner, Upper East)                                                                                                                                
3.2.1. NMP Bath (photomask cleaning)                                                                                                                                
3.4 Clean Anneal Furnace                                                                                                                                
3.5 GP Anneal Furnace                                             Qingxiao Meng                                            
3.6 Boron Diffusion Furnace                                                                                                                                
3.7 Phosphorus Diffusion Furnace                                                                                                                                
3.8 UDOX Furnace                                                                                                                                
3.9 Clean Si Oxidation Furnace                                                                                                                                
4.4 Dektak 2A                                                                                                                                
4.5 Kyowa Microscope                                                                                                                                
4.6 Kyowa Zoom Stereo Microscope                                                                                                                                
4.7 Nikon Microscope                                                                                                                                
4.8 PDMS Station                                                                                                                                
4.9 Jipelec RTA                                                                                                                                
5.3 4-point Probe                                                                                                                                
5.4 Edwards Sputter                                                                                                                                
5.6 Edwards Evaporator                                                                                                                                
5.7.1 Oxford RIE                                                                                                                                
5.7.2 Oxford PECVD         Gas supply issues SGS offine    
5.9 Raith 150 TWO         Nikhil Maka MD. MAMUNUR RAHMAN         Pierrette Michaux                                                            
6.0 Fume Cupboard (Resist Spinner, West White)                                                                                                                                
6.1 Fume Cupboard (Dry Processing, West White)                                                                                                                                
6.2 Fume Cupboard (Wet Processing, West White)                                                                                                                                
6.3 Fume Cupboard (HF Processing, West White)                                                                                                                                
6.4 Olympus Stereo Microscope                                                                                                                                
6.5 Olympus Darkfield Microscope                                                                                                                                
6.5.1 Dektak 150                                                                                                                                
6.5.2 MA6 Aligner                             Rasheed Ogundare                                                                                        
6.5.3.1 GP ULVAC MILA-500 Annealing Furnace                                                                                                                                
6.5.6 Savannah ALD Chmber cleaning required after incident
6.5.8 Muffle Furnace                                                                                                                                
6.6 Fume Cupboard (Wet Processing, West Grey)                                                                                                                                
6.7 STS ICP-DRIE Turbo pump refurbishment                                                
6.8.1 TPT HB10 Thermosonic Au Ball Bonder                                                                                                                                
6.9 K and S Al Wedge Bonder                         Kok Wai Chan-IR                                                                                                
7.2 Lesker PVD 75 (GP)                                                                                                                                
7.2.1 Lesker PVD 75 (Si)                                                                                                                                
7.2.2 HHV Sputterer                                                                                                                                
7.3 Woollam M2000 Ellipsometer                                                                                                                                
7.5 Cascade Probe Station                                                                                                                                
8.1 Fume Cupboard (Wet Processing, South Lab)                                                                                                                                
8.2 Veeco Gen930 III-V MBE                                                                                                                                
9.0 Fume Cupboard (Wet Processing, South Laser Lab)                                                                                                                                
9.1 Pascal LMBE Chamber A                         Yang Liu Meysam Amini                                                                
9.2 Pascal LMBE Chamber B                     Yunlong Sun                 Yunlong Sun Andrews Nsiah Ashong                                                
AlphaPlasma Asher                                                                                                                                
Bruker Dimension Edge AFM                                                                                                                                
DektakXT                                                                 Yatin Miglani                                                        
DMO ML3 Pro direct writer             Pierrette Michaux Zhewei Liu Nikhil Maka                                                    
F and S Bondtech 53XX-BDA wire bonder                                                                                                                                
GP RIE                                                 Mrigendra Yadav                                                                        
MBE sample preparation                                                                                                                                
OEG MR200 diamond scriber                                                                                                                                
Olympus DSX1000 Digital Microscope                                                                                                                                
Oxford PlasmaPro 100 Cobra ICP RIE                                                                                                                                
Parylene Coater                                                                                                                                
Picosun R-200 ALD system                                                                                                                                
Raith Pioneer TWO                                     joanna szymanska                                                                                
Tystar LPCVD Furnace System                                                                                                                                
Tystar LPCVD Furnace Tube 1 (Si3N4)                                                                                                                                
Tystar LPCVD Furnace Tube 2 (p-doped PolySi)                                                                                                                                
Tystar LPCVD Furnace Tube 3 (n-doped PolySi)                                                                                                                                
10.1 Fume Cupboard (Wet Processing, Ion Implanter)                                                                                                                                
10.1 IBS Ion Implanter                                                                                                                                
11 COMSOL Multiphysics                                                                                                                                
11.1 Woollam WVASE32                                                                                                                                
11.2 Raith Software                                                                                                                                
Tuesday, 25/02/2025 00:00 08:00 09:00 10:00 11:00 12:00 13:00 14:00 15:00 16:00 17:00 18:00 19:00 20:00 21:00 22:00 23:00
1.2 Fume Cupboard (Wet Processing, Lower East)                                                                                                                                
1.2.1 Decanted HF process                                                                                                                                
1.3 Fume Cupboard (Spinner, Lower East)                                                                                                                                
1.6 MJB3 Aligner                                                                                                                                
1.7 FEI XL30                                                                                                                                
1.8 FEI Sirion                                                                                                                                
2.1 Olympus Microscope                                                                                                                                
2.3 Denton Oxygen Asher (Lower East)                                                                                                                                
2.4 Lesker Thermal Evaporator                                                                                                                                
2.5 P-type Evaporator (Auto 306)                                                                                                                                
2.6 SET Al Evaporator (Auto 306)                                                                                                                                
2.7 Dicing Saw                                                                                                                                
2.8 GaAs ULVAC MILA-500 Annealing Furnace                                                                                                                                
3.0 Scriber (custom-made)                                                                                                                                
3.1 Fume Cupboard (Wet Processing, Upper East White)                                                                                                                                
3.1.1 HF constant temperature bath                                                                                                                                
3.1.2 TMAH etch                                                                                                                                
3.2 Fume Cupboard (Spinner, Upper East)                                                                                                                                
3.2.1. NMP Bath (photomask cleaning)                                                                                                                                
3.4 Clean Anneal Furnace                                                                                                                                
3.5 GP Anneal Furnace                                                                                                                                
3.6 Boron Diffusion Furnace                                                                                                                                
3.7 Phosphorus Diffusion Furnace                                                                                                                                
3.8 UDOX Furnace                                                                                                                                
3.9 Clean Si Oxidation Furnace                                                                                                                                
4.4 Dektak 2A                                                                                                                                
4.5 Kyowa Microscope                                                                                                                                
4.6 Kyowa Zoom Stereo Microscope                                                                                                                                
4.7 Nikon Microscope                                                                                                                                
4.8 PDMS Station                                                                                                                                
4.9 Jipelec RTA                                                                                                                                
5.3 4-point Probe                                                                                                                                
5.4 Edwards Sputter                                                                                                                                
5.6 Edwards Evaporator                                                                                                                                
5.7.1 Oxford RIE                                                                                                                                
5.7.2 Oxford PECVD         Gas supply issues SGS offine    
5.9 Raith 150 TWO                         MD. MAMUNUR RAHMAN                             Jianfu (Jeff) Wang                                                
6.0 Fume Cupboard (Resist Spinner, West White)                                                 Tim Botzem                                                                            
6.1 Fume Cupboard (Dry Processing, West White)                                                                                                                                
6.2 Fume Cupboard (Wet Processing, West White)                                                                                                                                
6.3 Fume Cupboard (HF Processing, West White)                                                                                                                                
6.4 Olympus Stereo Microscope                                                                                                                                
6.5 Olympus Darkfield Microscope                                                                                                                                
6.5.1 Dektak 150                                                                                                                                
6.5.2 MA6 Aligner                                                 Tim Botzem                                                                    
6.5.3.1 GP ULVAC MILA-500 Annealing Furnace                                                                                                                                
6.5.6 Savannah ALD Chmber cleaning required after incident
6.5.8 Muffle Furnace                                                                                                                                
6.6 Fume Cupboard (Wet Processing, West Grey)                                                                                                                                
6.7 STS ICP-DRIE                                                                                                                                
6.8.1 TPT HB10 Thermosonic Au Ball Bonder                                                                                                                                
6.9 K and S Al Wedge Bonder                                                                                                                                
7.2 Lesker PVD 75 (GP)             Tran Bach Dang                                                                                                    
7.2.1 Lesker PVD 75 (Si)                                                                                                                                
7.2.2 HHV Sputterer                                                                                                                                
7.3 Woollam M2000 Ellipsometer                                                                                                                                
7.5 Cascade Probe Station                                                                                                                                
8.1 Fume Cupboard (Wet Processing, South Lab)                                                                                                                                
8.2 Veeco Gen930 III-V MBE                                                                                                                                
9.0 Fume Cupboard (Wet Processing, South Laser Lab)                                                                                                                                
9.1 Pascal LMBE Chamber A                     Meysam Amini     Meysam Amini                                                
9.2 Pascal LMBE Chamber B                     Yunlong Sun                                                        
AlphaPlasma Asher                                                                                                                                
Bruker Dimension Edge AFM                                                                                                                                
DektakXT                                                                                                                                
DMO ML3 Pro direct writer                                         Yen Nee Ho Pierrette Michaux                                                                    
F and S Bondtech 53XX-BDA wire bonder                                                                                                                                
GP RIE                                                                                                                                
MBE sample preparation                                                                                                                                
OEG MR200 diamond scriber                                                                                                                                
Olympus DSX1000 Digital Microscope                                                                                                                                
Oxford PlasmaPro 100 Cobra ICP RIE                                                                                                                                
Parylene Coater                                 Charles Unsworth                                                        
Picosun R-200 ALD system                                                                                                                                
Raith Pioneer TWO                                                                                                                                
Tystar LPCVD Furnace System                                                                                                                                
Tystar LPCVD Furnace Tube 1 (Si3N4)                                                                                                                                
Tystar LPCVD Furnace Tube 2 (p-doped PolySi)                                                                                                                                
Tystar LPCVD Furnace Tube 3 (n-doped PolySi)                                                                                                                                
10.1 Fume Cupboard (Wet Processing, Ion Implanter)                                                                                                                                
10.1 IBS Ion Implanter                                                                                                                                
11 COMSOL Multiphysics                                                                                                                                
11.1 Woollam WVASE32                                                                                                                                
11.2 Raith Software                                                                                                                                
Wednesday, 26/02/2025 00:00 08:00 09:00 10:00 11:00 12:00 13:00 14:00 15:00 16:00 17:00 18:00 19:00 20:00 21:00 22:00 23:00
1.2 Fume Cupboard (Wet Processing, Lower East)                                                                                                                                
1.2.1 Decanted HF process                                                                                                                                
1.3 Fume Cupboard (Spinner, Lower East)                                                                                                                                
1.6 MJB3 Aligner                                                                                                                                
1.7 FEI XL30                                                                                                                                
1.8 FEI Sirion                                                                                                                                
2.1 Olympus Microscope                                                                                                                                
2.3 Denton Oxygen Asher (Lower East)                                                                                                                                
2.4 Lesker Thermal Evaporator                                                                                                                                
2.5 P-type Evaporator (Auto 306)                                                                                                                                
2.6 SET Al Evaporator (Auto 306)                                                                                                                                
2.7 Dicing Saw                                                                                                                                
2.8 GaAs ULVAC MILA-500 Annealing Furnace                                                                                                                                
3.0 Scriber (custom-made)                                                                                                                                
3.1 Fume Cupboard (Wet Processing, Upper East White)             Josiah Firth (ANFF)                                                                                                        
3.1.1 HF constant temperature bath                                                                                                                                
3.1.2 TMAH etch                                                                                                                                
3.2 Fume Cupboard (Spinner, Upper East)                                                                                                                                
3.2.1. NMP Bath (photomask cleaning)                                                                                                                                
3.4 Clean Anneal Furnace                                                                                                                                
3.5 GP Anneal Furnace                                                                                                                                
3.6 Boron Diffusion Furnace                                                                                                                                
3.7 Phosphorus Diffusion Furnace                                                                                                                                
3.8 UDOX Furnace                                                                                                                                
3.9 Clean Si Oxidation Furnace                                                                                                                                
4.4 Dektak 2A                                                                                                                                
4.5 Kyowa Microscope                                                                                                                                
4.6 Kyowa Zoom Stereo Microscope                                                                                                                                
4.7 Nikon Microscope                                                                                                                                
4.8 PDMS Station                                                                                                                                
4.9 Jipelec RTA                                                                                                                                
5.3 4-point Probe                                                                                                                                
5.4 Edwards Sputter                                                                                                                                
5.6 Edwards Evaporator                                                                                                                                
5.7.1 Oxford RIE                                                                                                                                
5.7.2 Oxford PECVD         Gas supply issues SGS offine    
5.9 Raith 150 TWO                 Eying Sim Wong MD. MAMUNUR RAHMAN         Yatin Miglani                                                        
6.0 Fume Cupboard (Resist Spinner, West White)                                                                                                                                
6.1 Fume Cupboard (Dry Processing, West White)                                                                                                                                
6.2 Fume Cupboard (Wet Processing, West White)                                                                                                                                
6.3 Fume Cupboard (HF Processing, West White)                                                                                                                                
6.4 Olympus Stereo Microscope                                                                                                                                
6.5 Olympus Darkfield Microscope                                                                                                                                
6.5.1 Dektak 150                                                                                                                                
6.5.2 MA6 Aligner                                                                                                                                
6.5.3.1 GP ULVAC MILA-500 Annealing Furnace                                                                                                                                
6.5.6 Savannah ALD Chmber cleaning required after incident
6.5.8 Muffle Furnace                                                                                                                                
6.6 Fume Cupboard (Wet Processing, West Grey)                                                                                                                                
6.7 STS ICP-DRIE                                                                                                                                
6.8.1 TPT HB10 Thermosonic Au Ball Bonder                                                                                                                                
6.9 K and S Al Wedge Bonder                                                                                                                                
7.2 Lesker PVD 75 (GP)                                                                                                                                
7.2.1 Lesker PVD 75 (Si)                                                                                                                                
7.2.2 HHV Sputterer                                                                                                                                
7.3 Woollam M2000 Ellipsometer                                                                                                                                
7.5 Cascade Probe Station                                                                                                                                
8.1 Fume Cupboard (Wet Processing, South Lab)                                                                                                                                
8.2 Veeco Gen930 III-V MBE                                                                                                                                
9.0 Fume Cupboard (Wet Processing, South Laser Lab)                                                                                                                                
9.1 Pascal LMBE Chamber A                     Meysam Amini             Meysam Amini                                                
9.2 Pascal LMBE Chamber B                 Andrews Nsiah Ashong                                                
AlphaPlasma Asher                                                                                                                                
Bruker Dimension Edge AFM                                                                                                                                
DektakXT                                                                                                                                
DMO ML3 Pro direct writer                                                                                                                                
F and S Bondtech 53XX-BDA wire bonder                                                                                                                                
GP RIE                                                                                                                                
MBE sample preparation                                                                                                                                
OEG MR200 diamond scriber                                                                                                                                
Olympus DSX1000 Digital Microscope                                                                                                                                
Oxford PlasmaPro 100 Cobra ICP RIE                                                                                                                                
Parylene Coater                                                                                                                                
Picosun R-200 ALD system                                                                                                                                
Raith Pioneer TWO                                                                                                                                
Tystar LPCVD Furnace System                                                                                                                                
Tystar LPCVD Furnace Tube 1 (Si3N4)                                                                                                                                
Tystar LPCVD Furnace Tube 2 (p-doped PolySi)                                                                                                                                
Tystar LPCVD Furnace Tube 3 (n-doped PolySi)                                                                                                                                
10.1 Fume Cupboard (Wet Processing, Ion Implanter)                                                                                                                                
10.1 IBS Ion Implanter                                                                                                                                
11 COMSOL Multiphysics                                                                                                                                
11.1 Woollam WVASE32                                                                                                                                
11.2 Raith Software                                                     Fati Khosravi                                                        
Thursday, 27/02/2025 00:00 08:00 09:00 10:00 11:00 12:00 13:00 14:00 15:00 16:00 17:00 18:00 19:00 20:00 21:00 22:00 23:00
1.2 Fume Cupboard (Wet Processing, Lower East)                                                                                                                                
1.2.1 Decanted HF process                                                                                                                                
1.3 Fume Cupboard (Spinner, Lower East)                                                                                                                                
1.6 MJB3 Aligner                                                                                                                                
1.7 FEI XL30                                                                                                                                
1.8 FEI Sirion                                                                                                                                
2.1 Olympus Microscope                                                                                                                                
2.3 Denton Oxygen Asher (Lower East)                                                                                                                                
2.4 Lesker Thermal Evaporator                                                                                                                                
2.5 P-type Evaporator (Auto 306)                                                                                                                                
2.6 SET Al Evaporator (Auto 306)             Nikhil Maka                                                                                                    
2.7 Dicing Saw                                                                                                                                
2.8 GaAs ULVAC MILA-500 Annealing Furnace                                                                                                                                
3.0 Scriber (custom-made)                                                                                                                                
3.1 Fume Cupboard (Wet Processing, Upper East White)                             Andrews Nsiah Ashong                                                                                            
3.1.1 HF constant temperature bath                                                                                                                                
3.1.2 TMAH etch                                                                                                                                
3.2 Fume Cupboard (Spinner, Upper East)                                                                                                                                
3.2.1. NMP Bath (photomask cleaning)                                                                                                                                
3.4 Clean Anneal Furnace                                                                                                                                
3.5 GP Anneal Furnace                             Andrews Nsiah Ashong                                                                                    
3.6 Boron Diffusion Furnace                                                                                                                                
3.7 Phosphorus Diffusion Furnace                                                                                                                                
3.8 UDOX Furnace                                                                                                                                
3.9 Clean Si Oxidation Furnace                                                                                                                                
4.4 Dektak 2A                                                                                                                                
4.5 Kyowa Microscope                                                                                                                                
4.6 Kyowa Zoom Stereo Microscope                                                                                                                                
4.7 Nikon Microscope                                                                                                                                
4.8 PDMS Station                                                                                                                                
4.9 Jipelec RTA                                                                                                                                
5.3 4-point Probe                                                                                                                                
5.4 Edwards Sputter                                                                                                                                
5.6 Edwards Evaporator                                                                                                                                
5.7.1 Oxford RIE                                                                                                                                
5.7.2 Oxford PECVD         Gas supply issues SGS offine    
5.9 Raith 150 TWO                                                     Mrigendra Yadav                                                    
6.0 Fume Cupboard (Resist Spinner, West White)                                                     Mrigendra Yadav                                                                        
6.1 Fume Cupboard (Dry Processing, West White)                                                                                                                                
6.2 Fume Cupboard (Wet Processing, West White)                                                                                                                                
6.3 Fume Cupboard (HF Processing, West White)                                                                                                                                
6.4 Olympus Stereo Microscope                                                                                                                                
6.5 Olympus Darkfield Microscope                                                                                                                                
6.5.1 Dektak 150                                                                                                                                
6.5.2 MA6 Aligner                                                     Pierrette Michaux                                                            
6.5.3.1 GP ULVAC MILA-500 Annealing Furnace                                                                                                                                
6.5.6 Savannah ALD Chmber cleaning required after incident
6.5.8 Muffle Furnace                                                                                                                                
6.6 Fume Cupboard (Wet Processing, West Grey)                                                                                                                                
6.7 STS ICP-DRIE                                                                                                                                
6.8.1 TPT HB10 Thermosonic Au Ball Bonder                                                                                                                                
6.9 K and S Al Wedge Bonder                                                                                                                                
7.2 Lesker PVD 75 (GP)                                                                                                                                
7.2.1 Lesker PVD 75 (Si)                                                                                                                                
7.2.2 HHV Sputterer                                                                                                                                
7.3 Woollam M2000 Ellipsometer                                                                                                                                
7.5 Cascade Probe Station                                                                                                                                
8.1 Fume Cupboard (Wet Processing, South Lab)                                                                                                                                
8.2 Veeco Gen930 III-V MBE                                                                                                                                
9.0 Fume Cupboard (Wet Processing, South Laser Lab)                                                                                                                                
9.1 Pascal LMBE Chamber A                 Meysam Amini                 Meysam Amini                                                
9.2 Pascal LMBE Chamber B                                                                                                                                
AlphaPlasma Asher                                                                                                                                
Bruker Dimension Edge AFM                                                                                                                                
DektakXT                                                                                                                                
DMO ML3 Pro direct writer                                                                                                                                
F and S Bondtech 53XX-BDA wire bonder                                                                                                                                
GP RIE                                                                                                                                
MBE sample preparation                                                                                                                                
OEG MR200 diamond scriber                                                                                                                                
Olympus DSX1000 Digital Microscope                                                                                                                                
Oxford PlasmaPro 100 Cobra ICP RIE                                                                                                                                
Parylene Coater                                                                                                                                
Picosun R-200 ALD system                                                                                                                                
Raith Pioneer TWO                                                                                                                                
Tystar LPCVD Furnace System                                                                                                                                
Tystar LPCVD Furnace Tube 1 (Si3N4)                                                                                                                                
Tystar LPCVD Furnace Tube 2 (p-doped PolySi)                                                                                                                                
Tystar LPCVD Furnace Tube 3 (n-doped PolySi)                                                                                                                                
10.1 Fume Cupboard (Wet Processing, Ion Implanter)                                                                                                                                
10.1 IBS Ion Implanter                                                                                                                                
11 COMSOL Multiphysics                                                                                                                                
11.1 Woollam WVASE32                                                                                                                                
11.2 Raith Software                                                                                                                                
Friday, 28/02/2025 00:00 08:00 09:00 10:00 11:00 12:00 13:00 14:00 15:00 16:00 17:00 18:00 19:00 20:00 21:00 22:00 23:00
1.2 Fume Cupboard (Wet Processing, Lower East)                                                                                                                                
1.2.1 Decanted HF process                                                                                                                                
1.3 Fume Cupboard (Spinner, Lower East)                                                                                                                                
1.6 MJB3 Aligner                                                                                                                                
1.7 FEI XL30                                                                                                                                
1.8 FEI Sirion                                                                                                                                
2.1 Olympus Microscope                                                                                                                                
2.3 Denton Oxygen Asher (Lower East)                                                                                                                                
2.4 Lesker Thermal Evaporator                                                                                                                                
2.5 P-type Evaporator (Auto 306)                                                                                                                                
2.6 SET Al Evaporator (Auto 306)                                                                                                                                
2.7 Dicing Saw                                                                                                                                
2.8 GaAs ULVAC MILA-500 Annealing Furnace                                                                                                                                
3.0 Scriber (custom-made)                                                                                                                                
3.1 Fume Cupboard (Wet Processing, Upper East White)                                                                                                                                
3.1.1 HF constant temperature bath                                                                                                                                
3.1.2 TMAH etch                                                                                                                                
3.2 Fume Cupboard (Spinner, Upper East)                                                                                                                                
3.2.1. NMP Bath (photomask cleaning)                                                                                                                                
3.4 Clean Anneal Furnace                                                                                                                                
3.5 GP Anneal Furnace                                                                                                                                
3.6 Boron Diffusion Furnace                                                                                                                                
3.7 Phosphorus Diffusion Furnace                                                                                                                                
3.8 UDOX Furnace                                                                                                                                
3.9 Clean Si Oxidation Furnace                                                                                                                                
4.4 Dektak 2A                                                                                                                                
4.5 Kyowa Microscope                                                                                                                                
4.6 Kyowa Zoom Stereo Microscope                                                                                                                                
4.7 Nikon Microscope                                                                                                                                
4.8 PDMS Station                                                                                                                                
4.9 Jipelec RTA                                                                                                                                
5.3 4-point Probe                                                                                                                                
5.4 Edwards Sputter                                                                                                                                
5.6 Edwards Evaporator                                                                                                                                
5.7.1 Oxford RIE                                                                                                                                
5.7.2 Oxford PECVD         Gas supply issues SGS offine    
5.9 Raith 150 TWO             Domenico D'Anna                         joanna szymanska Lukas Delventhal                                                        
6.0 Fume Cupboard (Resist Spinner, West White)                                                                                                                                
6.1 Fume Cupboard (Dry Processing, West White)                                                                                                                                
6.2 Fume Cupboard (Wet Processing, West White)                                                                                                                                
6.3 Fume Cupboard (HF Processing, West White)                                                                                                                                
6.4 Olympus Stereo Microscope                                                                                                                                
6.5 Olympus Darkfield Microscope                                                                                                                                
6.5.1 Dektak 150                                                                                                                                
6.5.2 MA6 Aligner                                                                                                                                
6.5.3.1 GP ULVAC MILA-500 Annealing Furnace                                                                                                                                
6.5.6 Savannah ALD Chmber cleaning required after incident
6.5.8 Muffle Furnace                                                                                                                                
6.6 Fume Cupboard (Wet Processing, West Grey)                                                                                                                                
6.7 STS ICP-DRIE                                                                                                                                
6.8.1 TPT HB10 Thermosonic Au Ball Bonder                                                                                                                                
6.9 K and S Al Wedge Bonder                                                                                                                                
7.2 Lesker PVD 75 (GP)                                                                                                                                
7.2.1 Lesker PVD 75 (Si)                                                                                                                                
7.2.2 HHV Sputterer                                                                                                                                
7.3 Woollam M2000 Ellipsometer                                                                                                                                
7.5 Cascade Probe Station                                                                                                                                
8.1 Fume Cupboard (Wet Processing, South Lab)                                                                                                                                
8.2 Veeco Gen930 III-V MBE                                                                                                                                
9.0 Fume Cupboard (Wet Processing, South Laser Lab)                                                                                                                                
9.1 Pascal LMBE Chamber A                     Meysam Amini             Meysam Amini                                                        
9.2 Pascal LMBE Chamber B                                                                                                                                
AlphaPlasma Asher                                                                                                                                
Bruker Dimension Edge AFM                                                                                                                                
DektakXT                                                                                                                                
DMO ML3 Pro direct writer                                                                                                                                
F and S Bondtech 53XX-BDA wire bonder                                                                                                                                
GP RIE                                                                                                                                
MBE sample preparation                                                                                                                                
OEG MR200 diamond scriber                                                                                                                                
Olympus DSX1000 Digital Microscope                                                                                                                                
Oxford PlasmaPro 100 Cobra ICP RIE                                                                                                                                
Parylene Coater                                                                                                                                
Picosun R-200 ALD system                                                                                                                                
Raith Pioneer TWO                                                 joanna szymanska                                                                            
Tystar LPCVD Furnace System                                                                                                                                
Tystar LPCVD Furnace Tube 1 (Si3N4)                                                                                                                                
Tystar LPCVD Furnace Tube 2 (p-doped PolySi)                                                                                                                                
Tystar LPCVD Furnace Tube 3 (n-doped PolySi)                                                                                                                                
10.1 Fume Cupboard (Wet Processing, Ion Implanter)                                                                                                                                
10.1 IBS Ion Implanter                                                                                                                                
11 COMSOL Multiphysics                                                                                                                                
11.1 Woollam WVASE32                                                                                                                                
11.2 Raith Software                                                                                                                                
Saturday, 01/03/2025 00:00 08:00 09:00 10:00 11:00 12:00 13:00 14:00 15:00 16:00 17:00 18:00 19:00 20:00 21:00 22:00 23:00
1.2 Fume Cupboard (Wet Processing, Lower East)                                                                                                                                
1.2.1 Decanted HF process                                                                                                                                
1.3 Fume Cupboard (Spinner, Lower East)                                                                                                                                
1.6 MJB3 Aligner                                                                                                                                
1.7 FEI XL30                                                                                                                                
1.8 FEI Sirion                                                                                                                                
2.1 Olympus Microscope                                                                                                                                
2.3 Denton Oxygen Asher (Lower East)                                                                                                                                
2.4 Lesker Thermal Evaporator                                                                                                                                
2.5 P-type Evaporator (Auto 306)                                                                                                                                
2.6 SET Al Evaporator (Auto 306)                                                                                                                                
2.7 Dicing Saw                                                                                                                                
2.8 GaAs ULVAC MILA-500 Annealing Furnace                                                                                                                                
3.0 Scriber (custom-made)                                                                                                                                
3.1 Fume Cupboard (Wet Processing, Upper East White)                                                                                                                                
3.1.1 HF constant temperature bath                                                                                                                                
3.1.2 TMAH etch                                                                                                                                
3.2 Fume Cupboard (Spinner, Upper East)                                                                                                                                
3.2.1. NMP Bath (photomask cleaning)                                                                                                                                
3.4 Clean Anneal Furnace                                                                                                                                
3.5 GP Anneal Furnace                                                                                                                                
3.6 Boron Diffusion Furnace                                                                                                                                
3.7 Phosphorus Diffusion Furnace                                                                                                                                
3.8 UDOX Furnace                                                                                                                                
3.9 Clean Si Oxidation Furnace                                                                                                                                
4.4 Dektak 2A                                                                                                                                
4.5 Kyowa Microscope                                                                                                                                
4.6 Kyowa Zoom Stereo Microscope                                                                                                                                
4.7 Nikon Microscope                                                                                                                                
4.8 PDMS Station                                                                                                                                
4.9 Jipelec RTA                                                                                                                                
5.3 4-point Probe                                                                                                                                
5.4 Edwards Sputter                                                                                                                                
5.6 Edwards Evaporator                                                                                                                                
5.7.1 Oxford RIE                                                                                                                                
5.7.2 Oxford PECVD         Gas supply issues SGS offine    
5.9 Raith 150 TWO                                                                                                                                
6.0 Fume Cupboard (Resist Spinner, West White)                                                                                                                                
6.1 Fume Cupboard (Dry Processing, West White)                                                                                                                                
6.2 Fume Cupboard (Wet Processing, West White)                                                                                                                                
6.3 Fume Cupboard (HF Processing, West White)                                                                                                                                
6.4 Olympus Stereo Microscope                                                                                                                                
6.5 Olympus Darkfield Microscope                                                                                                                                
6.5.1 Dektak 150                                                                                                                                
6.5.2 MA6 Aligner                                                                                                                                
6.5.3.1 GP ULVAC MILA-500 Annealing Furnace                                                                                                                                
6.5.6 Savannah ALD Chmber cleaning required after incident
6.5.8 Muffle Furnace                                                                                                                                
6.6 Fume Cupboard (Wet Processing, West Grey)                                                                                                                                
6.7 STS ICP-DRIE                                                                                                                                
6.8.1 TPT HB10 Thermosonic Au Ball Bonder                                                                                                                                
6.9 K and S Al Wedge Bonder                                                                                                                                
7.2 Lesker PVD 75 (GP)                                                                                                                                
7.2.1 Lesker PVD 75 (Si)                                                                                                                                
7.2.2 HHV Sputterer                                                                                                                                
7.3 Woollam M2000 Ellipsometer                                                                                                                                
7.5 Cascade Probe Station                                                                                                                                
8.1 Fume Cupboard (Wet Processing, South Lab)                                                                                                                                
8.2 Veeco Gen930 III-V MBE                                                                                                                                
9.0 Fume Cupboard (Wet Processing, South Laser Lab)                                                                                                                                
9.1 Pascal LMBE Chamber A                                                                                                                                
9.2 Pascal LMBE Chamber B                                                                                                                                
AlphaPlasma Asher                                                                                                                                
Bruker Dimension Edge AFM                                                                                                                                
DektakXT                                                                                                                                
DMO ML3 Pro direct writer                                                                                                                                
F and S Bondtech 53XX-BDA wire bonder                                                                                                                                
GP RIE                                                                                                                                
MBE sample preparation                                                                                                                                
OEG MR200 diamond scriber                                                                                                                                
Olympus DSX1000 Digital Microscope                                                                                                                                
Oxford PlasmaPro 100 Cobra ICP RIE                                                                                                                                
Parylene Coater                                                                                                                                
Picosun R-200 ALD system                                                                                                                                
Raith Pioneer TWO                                                                                                                                
Tystar LPCVD Furnace System                                                                                                                                
Tystar LPCVD Furnace Tube 1 (Si3N4)                                                                                                                                
Tystar LPCVD Furnace Tube 2 (p-doped PolySi)                                                                                                                                
Tystar LPCVD Furnace Tube 3 (n-doped PolySi)                                                                                                                                
10.1 Fume Cupboard (Wet Processing, Ion Implanter)                                                                                                                                
10.1 IBS Ion Implanter                                                                                                                                
11 COMSOL Multiphysics                                                                                                                                
11.1 Woollam WVASE32                                                                                                                                
11.2 Raith Software                                                                                                                                
 
 
Today Back 23/02/2025 - 01/03/2025 Forward